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公开(公告)号:CN107244669B
公开(公告)日:2020-12-25
申请号:CN201710461601.6
申请日:2017-06-14
Applicant: 南开大学
IPC: C01B32/194 , B82Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种激光诱导石墨烯微纳结构的加工方法及其系统,本方法首先制备氧化物‑石墨烯‑基底材料三明治结构样品;其次,样品通过激光直写系统进行加工;超过阈值光强的区域内石墨烯在激光诱导下和氧化物发生碳热还原反应而被破坏,其他部分的石墨烯则不会被破坏得以保留,从而形成石墨烯微纳结构。本发明方法及系统操作简单,不需要借助掩模板进行曝光,避免了离子束加工中二次溅射的问题,能实现高精度的石墨烯结构及图案的加工,加工分辨率可通过激光光斑大小和激光能量调控,有利于复杂结构石墨烯图案的快速加工及高质量石墨烯结构器件的制备,可广泛的推广应用。
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公开(公告)号:CN107244669A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201710461601.6
申请日:2017-06-14
Applicant: 南开大学
IPC: C01B32/194 , B82Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种激光诱导石墨烯微纳结构的加工方法及其系统,本方法首先制备氧化物‑石墨烯‑基底材料三明治结构样品;其次,样品通过激光直写系统进行加工;超过阈值光强的区域内石墨烯在激光诱导下和氧化物发生碳热还原反应而被破坏,其他部分的石墨烯则不会被破坏得以保留,从而形成石墨烯微纳结构。本发明方法及系统操作简单,不需要借助掩模板进行曝光,避免了离子束加工中二次溅射的问题,能实现高精度的石墨烯结构及图案的加工,加工分辨率可通过激光光斑大小和激光能量调控,有利于复杂结构石墨烯图案的快速加工及高质量石墨烯结构器件的制备,可广泛的推广应用。
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公开(公告)号:CN103995394B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201410108057.3
申请日:2014-03-19
Applicant: 南开大学
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/133788 , B23K26/0006 , B23K26/0624 , B23K26/355 , B23K26/359 , B23K2101/36 , B23K2103/42 , B23K2103/56 , G02F1/133377 , G02F1/133711 , G02F1/1341 , G02F2001/133776 , G02F2202/023
Abstract: 本发明公开了一种基于激光直写的微纳区域液晶定向方法及其系统。本方法利用通过激光直写系统构建微纳结构;微纳结构区域内的液晶分子实现自定向;液晶的定向源于构成微纳结构的聚合物条带侧壁上的精细结构;所述微纳区域的尺寸从微米量级一直到超衍射极限的纳米量级。本发明方法及系统操作简单,不需要使用机械或光诱导的方式在基板上形成定向诱导膜,能在微纳区域内实现液晶的自定向,定向方向可微区域调控,有利于基于液晶器件的小型化和复杂三维液晶结构的定向,可广泛的推广应用。
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公开(公告)号:CN103995394A
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201410108057.3
申请日:2014-03-19
Applicant: 南开大学
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/133788 , B23K26/0006 , B23K26/0624 , B23K26/355 , B23K26/359 , B23K2101/36 , B23K2103/42 , B23K2103/56 , G02F1/133377 , G02F1/133711 , G02F1/1341 , G02F2001/133776 , G02F2202/023
Abstract: 本发明公开了一种基于激光直写的微纳区域液晶定向方法及其系统。本方法利用通过激光直写系统构建微纳结构;微纳结构区域内的液晶分子实现自定向;液晶的定向源于构成微纳结构的聚合物条带侧壁上的精细结构;所述微纳区域的尺寸从微米量级一直到超衍射极限的纳米量级。本发明方法及系统操作简单,不需要使用机械或光诱导的方式在基板上形成定向诱导膜,能在微纳区域内实现液晶的自定向,定向方向可微区域调控,有利于基于液晶器件的小型化和复杂三维液晶结构的定向,可广泛的推广应用。
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