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公开(公告)号：CN100582738C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200710150589.3
申请日：2007-11-30
Applicant: 南开大学
IPC: G01N13/16
Abstract: 一种基于压电扫描管动态特性的原子力显微镜成像方法及装置。首先针对当前原子力显微镜普遍采用的成像方法在高速扫描下成像误差大的缺点，通过分析AFM成像部件的信号，提出了一种加入压电扫描管动态特性的改进成像方法，包括：模型的辨识、参数的标定、采集成像所需数据及成像。本发明有效地提高了AFM在Z方向上的成像精度，特别是对于AFM高速扫描下的成像精度有着明显的改善效果。成像装置采用本原CSPM4000及其所提供的信号访问接口，利用RTLinux良好的实时性，在PC上实现了控制周期为50μs的精确实时反馈控制。利用该装置可以在高速扫描时实现样品的精确成像，并能为以后进行纳米操作方面的研究提供条件。
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公开(公告)号：CN101169361A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710150589.3
申请日：2007-11-30
Applicant: 南开大学
IPC: G01N13/16
Abstract: 一种基于压电扫描管动态特性的原子力显微镜成像方法及装置。首先针对当前原子力显微镜普遍采用的成像方法在高速扫描下成像误差大的缺点，通过分析AFM成像部件的信号，提出了一种加入压电扫描管动态特性的改进成像方法，包括：模型的辨识、参数的标定、采集成像所需数据及成像。本发明有效地提高了AFM在Z方向上的成像精度，特别是对于AFM高速扫描下的成像精度有着明显的改善效果。成像装置采用本原CSPM4000及其所提供的信号访问接口，利用RTLinux良好的实时性，在PC上实现了控制周期为50μs的精确实时反馈控制。利用该装置可以在高速扫描时实现样品的精确成像，并能为以后进行纳米操作方面的研究提供条件。
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公开(公告)号：CN101776434A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN201010120904.X
申请日：2010-03-10
Applicant: 南开大学
Abstract: 基于隧道电流反馈瞄准的小盲孔测量方法及测量装置，涉及对小孔径深盲孔的直径、圆度、锥度、直线度和表面粗糙度的测量。测量装置包括扫描隧道显微镜，带反馈的xy电动平移台和电动回转台。测量方法是：待测工件安装在扫描隧道显微镜的三维压电平移台上，分别通过对扫描隧道显微镜的电动升降柱、xy电动平移台、电动回转台以及压电平移台的调整，实现对隧道电流反馈探针的3维姿态调整和3维平移调节，用隧道电流实现纳米精度定位，用针尖的坐标作为测量点的坐标，根据电动平移台和压电平移台反馈的位置信息获取亚微米分辨率的三维坐标值，进而实现上述几何量测量。本发明可测最小孔径为0.5mm，孔深30mm。
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公开(公告)号：CN101776434B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201010120904.X
申请日：2010-03-10
Applicant: 南开大学
Abstract: 基于隧道电流反馈瞄准的小盲孔测量方法及测量装置，涉及对小孔径深盲孔的直径、圆度、锥度、直线度和表面粗糙度的测量。测量装置包括扫描隧道显微镜，带反馈的xy电动平移台和电动回转台。测量方法是：待测工件安装在扫描隧道显微镜的三维压电平移台上，分别通过对扫描隧道显微镜的电动升降柱、xy电动平移台、电动回转台以及压电平移台的调整，实现对隧道电流反馈探针的3维姿态调整和3维平移调节，用隧道电流实现纳米精度定位，用针尖的坐标作为测量点的坐标，根据电动平移台和压电平移台反馈的位置信息获取亚微米分辨率的三维坐标值，进而实现上述几何量测量。本发明可测最小孔径为0.5mm，孔深30mm。
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