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公开(公告)号：CN118431337A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410445906.8
申请日：2024-04-15
Applicant: 南昌大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/032 , H01L31/102
Abstract: 本发明属于半导体紫外光电探测技术领域，具体涉及一种TiSe2‑TiO2日盲探测器及其制备方法和应用。该TiSe2‑TiO2日盲光电探测器以二维过渡金属硫族化合物TiSe2为原材料，通过机械剥离得到TiSe2薄膜，转移至带有预电极的衬底上，然后采用激光辐照的方法，制备TiSe2‑TiO2横向异质结，进而构建得到。本发明以二维过渡金属硫族化合物TiSe2为原材料，首次创新提出了机械剥离和激光辐照相结合的方法，制备TiSe2‑TiO2横向异质结。采用激光辐照的方法，一方面可以通过调节激光功率和积分时间实现对不同厚度TiSe2不同程度的氧化，另一方面还可以借助扫描面积灵活控制器件面积；此外，该本发明操作简单，耗时短，原料廉价易得，安全环保，并且制得的异质结器件的光电探测性能优异。
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