公开(公告)号：CN108796465A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201710280946.1

申请日：2017-04-26

Applicant: 南通大学

Inventor： 杨建华 ,  黄小忠 ,  丁一 ,  钱月明 ,  于鹏飞 ,  祁万钰 ,  杨北平

IPC: C23C14/48 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/48 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明提供了一种离子剂量和靶温检测方法，在离子溅射镀膜中对样品进行表面处理的检测过程中，对样品进行局部表面的掩蔽的方式进行表面处理的检测。采用这一系统可以减小同批样品预处理条件和真空处理条件波动的影响，可在不破坏真空的情况下提高材料真空表面处理的处理效率，避免频繁打开真空可能导致的污染，提高处理工艺的可重复性，加快处理技术的实用化进程。

公开(公告)号：CN102539263A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110385746.5

申请日：2011-11-29

Applicant: 南通大学

Inventor： 杨建华

IPC: G01N3/56

Abstract: 本发明公开了一种基于掩蔽处理技术的轻微磨损测量方法，包括将大、小样品放入真空处理室，大样品的部分表面放置小样品进行掩蔽，然后对大、小样品进行表面处理，在大样品表面形成处理区和未处理区，然后移走小样品；从真空处理室取出大、小样品，采用销盘磨损机或往复式磨损机对大样品上形成的未处理区和处理区进行磨损实验，形成磨痕；采用干涉显微镜测量，并将测量数据传输给数码相机或计算机。本发明可以减小同批样品预处理条件和真空处理条件波动的影响，可在不破坏真空的情况下提高材料真空表面处理的处理效率，提高处理工艺的可重复性，加快处理技术的实用化进程。

公开(公告)号：CN113188938A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN202110472421.4

申请日：2021-04-29

Applicant: 南通大学

Inventor： 杨建华 ,  杨北平 ,  曹泽颖 ,  曹子健 ,  成鸣飞

IPC: G01N3/56 ,  G01N3/02 ,  G06T7/00 ,  G06T7/50

Abstract: 本发明公开了采用干涉法结合Photoshop软件评价表面改性层耐磨性的方法，包括样品掩蔽方法、漏计磨损的获得、干涉条纹的处理和磨损体积的测量。采用该方法，不仅可以减小同批样品预处理条件和真空处理条件波动的影响，可在不破坏真空的情况下提高材料真空表面处理的处理效率，提高处理工艺的可重复性，而且采用胶带清除松动的磨屑，可以有效消除通常磨损试验中往往出现的漏计磨损；采用SmartDeblur软件并结合人工识别确定干涉条纹可以有效地消除常见的伪磨损；采用PS软件的直方图工具测量相对耐磨性既直观又简便，从而有效地提高材料表面轻微磨损的测量效率，提高测量的可信度。