公开(公告)号：CN103996751B

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201410252683.X

申请日：2014-06-09

Applicant: 南通大学

Inventor： 王强 ,  黄倩露 ,  章国安 ,  钱一伟 ,  邓洪海 ,  邓洁

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 并联双结太阳能电池的制造工艺，步骤如下：对N型硅衬底进行P型掺杂，形成PN深结；在硅片表面淀积一层含有N型杂质的二氧化硅层；在顶电极区开窗，露出P型硅；P型杂质高温扩散，使二氧化硅层内的N型杂质掺入P型硅，在非顶电极区形成PN浅结，开窗处形成P型重掺杂；去除二氧化硅层并淀积氮化硅抗反射薄膜；最后制备电极。巧妙的工艺设置使得发明工艺步骤十分简化，并且能够一步形成电极区重掺杂和上表面的浅结。在高温扩散的同时，二氧化硅层内的N型杂质也会向顶电极区扩散，然而窗口区浓度较高的P型杂质能够有效的抑制这一趋势，从而确保最后获得完美的双结和电极区重掺杂。本发明各步骤均易于在工业上实现，极具实际运用价值。

公开(公告)号：CN103691632B

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201310686050.5

申请日：2013-12-16

Applicant: 南通大学

Inventor： 王强 ,  黄倩露 ,  钱一伟 ,  张振娟 ,  花国然

IPC: B05C11/08 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明公开了一种匀胶机托盘结构，包括：硅片承片台和真空吸片结构，所述硅片承片台的顶端有一硅片承载平面，沿着所述硅片承载平面的中心向内开设有一储胶槽，并且所述储胶槽的槽壁为向内凹进的圆弧形，在所述储胶槽的中间还设有一圆台形的凸台；所述真空吸片结构包括：上端和真空吸片口，并且所述真空吸片口与所述硅片承载平面间的垂直距离大于3mm。通过上述方式，本发明能够有效地阻挡光刻胶被吸入真空吸片口内，避免了真空吸片口因吸入光刻胶而导致的吸力不足或堵塞；同时具有大容量储胶槽，能够储存较多被甩出的光刻胶，并防止流入储胶槽内的光刻胶再次被甩出，避免了对匀胶台的损伤。