公开(公告)号：CN101361158B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN200680051585.3

申请日：2006-11-15

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 比利·W·沃德 ,  约翰·A·诺特四世 ,  路易斯·S·法卡斯三世 ,  兰德尔·G·珀西瓦尔 ,  雷蒙德·希尔

IPC: H01J37/28 ,  H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/252 ,  H01J37/317 ,  B81B1/00 ,  G01N23/225 ,  G12B21/02 ,  H01J27/26

Abstract: 公开了离子源、系统和方法。

公开(公告)号：CN101882551B

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201010151355.2

申请日：2006-11-15

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 比利·W·沃德 ,  约翰·A·诺特四世 ,  路易斯·S·法卡斯三世 ,  兰德尔·G·珀西瓦尔 ,  雷蒙德·希尔

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/30477 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31755

Abstract: 公开了离子源、系统和方法。