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发明公开
一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器审中-实审

公开(公告)号：CN118464976A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410602396.0

申请日：2024-05-15

Applicant: 厦门大学

Inventor： 高立波 , 任子明 , 兰奕晖 , 薛晨阳 , 柴进 , 景俊民 , 张增星 , 吴贵荣

IPC: G01N25/20 , G01N25/48

Abstract: 本发明公开了一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器，包括：功能部，包括依次叠加的第一薄膜层、电极层和硅基底；第一薄膜层为硅化合物薄膜，用于保护电极层；电极层用于根据气体中的热导率变化生成检测氢气浓度的检测信号；封装部，设有内电极和外电极，内电极与电极层相连接以接收电极层的检测信号，外电极与外部电路相连接以输出检测信号。本发明设有参比和补偿电阻，增加了传感器的检测精度和检测范围；通过结构设置使测量电阻丝充分接触周边空气，快速检测氢气浓度变化；采用多层保护膜和透气疏水膜，使得该传感器可稳定应用于高湿度环境下。

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