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公开(公告)号：CN213301990U
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202021815731.9
申请日：2020-08-26
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本申请公开了一种等离子体参数获取装置，其包括光谱参数获取模块，光谱参数获取模块包括丝杠滑块机构、与滑块固定连接的测量探头、光谱分析仪及连接测量探头和光谱分析仪的光纤。其中，光谱分析仪用于接收所述测量探头采集的光信号并进行分析以获取所述光谱参数。采用上述技术方案，能够以较低成本获取特定等离子体发生器产生的等离子体在多个空间点位上的光谱参数，进而据此换算成等离子体的特性参数。
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