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公开(公告)号：CN219120201U
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202320127800.4
申请日：2023-01-17
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本申请涉及一种亚微米步进升降机构，其通过步进驱动器驱动电机旋转，通过丝杆将旋转转化为上升下降，利用光栅编码器构成闭环反馈，对转速、力矩、位移量进行检测，并根据反馈量对驱动器进行精细化控制，从而实现竖直方向上的亚微米位移，使得采用该机构的扫描隧道显微镜在操作过程中不容易使针尖与样品或样品台发生碰撞本申请；该机构同时采用了第一减震件、第二减震件以及第三减震件，形成三级减震环节，从而减小了机构升降时XY轴位移量的干扰，能够有效隔绝XY轴产生的振动给Z轴带来的影响，同时能够稳定XY轴，保证了位移精度。
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