可设计线性灵敏度传感器半球形超弹性微结构的确定方法

    公开(公告)号:CN114878034B

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202210453163.X

    申请日:2022-04-27

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了可设计线性灵敏度传感器半球形超弹性微结构的确定方法,传感器敏感单元层上的半球形微结构面直接与一接触电极接触,使得在施加压力后由超弹性体制成的半球形微结构会随之发生结构变形,改变接触电极和敏感层之间的接触面积而使得传感器电阻发生线性变化;其确定方法利用超弹性体变形的连续性假设,推导出单个微结构变形后的接触面面积及所产生的高度变化,进而根据多阶半球形微结构下法向受力分配平衡条件及预设变形阈值,计算出微结构不同阶梯尺寸、数量及布局,实现对采用超弹性材料作为压阻式传感器敏感层的设计确定,进行定量设计线性灵敏度的应用需求;该方法能够满足计算简便且准确率高的要求,实现传感器可设计线性灵敏度的目的。

    可设计线性灵敏度传感器半球形超弹性微结构的确定方法

    公开(公告)号:CN114878034A

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202210453163.X

    申请日:2022-04-27

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了可设计线性灵敏度传感器半球形超弹性微结构的确定方法,传感器敏感单元层上的半球形微结构面直接与一接触电极接触,使得在施加压力后由超弹性体制成的半球形微结构会随之发生结构变形,改变接触电极和敏感层之间的接触面积而使得传感器电阻发生线性变化;其确定方法利用超弹性体变形的连续性假设,推导出单个微结构变形后的接触面面积及所产生的高度变化,进而根据多阶半球形微结构下法向受力分配平衡条件及预设变形阈值,计算出微结构不同阶梯尺寸、数量及布局,实现对采用超弹性材料作为压阻式传感器敏感层的设计确定,进行定量设计线性灵敏度的应用需求;该方法能够满足计算简便且准确率高的要求,实现传感器可设计线性灵敏度的目的。

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