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公开(公告)号：CN87207427U
公开(公告)日：1988-04-20
申请号：CN87207427
申请日：1987-07-07
Applicant: 厦门大学
Inventor： 李焯 , 杨进城 , 钟茂声 , 吕文选
IPC: G01B15/02
Abstract: 薄膜厚度测量装置。本实用新型属于微波测厚技术，是对微波腔体微扰法的改进，并应用于介质薄膜的厚度测量。它采用圆柱型TE。双腔单模作为传感器，被测薄膜位于沿纵向中央所开的横向隙缝中，采取温度自补偿措施和线性好的场效应压控振荡器作为微波振荡源，利用扫频技术实现无接触在线连续自动测量和质检兼容。其测量分辨率和精度高，零漂小，耗散功率小，体积小。
