一种基于电化学刻蚀的钨针尖可控制备平台及制备方法

    公开(公告)号:CN114481285A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210021644.3

    申请日:2022-01-10

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明涉及探针制备技术领域,本发明具体涉及一种基于电化学刻蚀的钨针尖可控制备平台,包括电化学池、位移调节装置、测量装置、控制系统和三电极电路板,所述电化学池内盛设有电解液,所述三电极电路板包括工作电极、对电极和参比电极,所述工作电极与所述待制备钨丝连接,所述对电极和所述参比电极与所述电解液连接,所述待制备钨丝端部与所述电解液接触时,所述三电极电路板和所述不锈钢件、所述电解液、所述待制备钨丝之间形成刻蚀电路;所述测量装置用于对所述待制备钨丝的不同部位的直径进行测量;所述控制系统连接到所述三电极电路板控制所述三电极电路板工作。

    一种基于电化学刻蚀的钨针尖可控制备平台及制备方法

    公开(公告)号:CN114481285B

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202210021644.3

    申请日:2022-01-10

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明涉及探针制备技术领域,本发明具体涉及一种基于电化学刻蚀的钨针尖可控制备平台,包括电化学池、位移调节装置、测量装置、控制系统和三电极电路板,所述电化学池内盛设有电解液,所述三电极电路板包括工作电极、对电极和参比电极,所述工作电极与所述待制备钨丝连接,所述对电极和所述参比电极与所述电解液连接,所述待制备钨丝端部与所述电解液接触时,所述三电极电路板和所述不锈钢件、所述电解液、所述待制备钨丝之间形成刻蚀电路;所述测量装置用于对所述待制备钨丝的不同部位的直径进行测量;所述控制系统连接到所述三电极电路板控制所述三电极电路板工作。

Patent Agency Ranking