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公开(公告)号：CN108917909A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810648440.6
申请日：2018-06-22
Applicant: 厦门大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种基于自混合干涉的高精度振幅实时测量装置，包括激光光源、分束镜、光电探测器、反射镜、信号处理单元、数据处理显示单元及被测物，所述激光光源、分束镜、光电探测器、被测物及反射镜依次光路连接，所述信号处理单元的输入端与所述光电探测器相连，其输出端与所述数据处理单元相连。本发明还公开了一种基于自混合干涉的高精度实时振幅测量方法。本发明无需传统激光干涉仪的参考臂，其单臂光路具有易准直且减小系统对外界的噪声敏感度。采用自混合干涉原理对激光光源相干性无特定要求，激光器选择自由度大。同时，装置的增益参数可控，可测的最小振幅值可达纳米级；在频域获取信号频谱特征值，无需数条纹，易实现宽范围实时测量。
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