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公开(公告)号:CN115125521A
公开(公告)日:2022-09-30
申请号:CN202210796009.2
申请日:2022-07-07
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
IPC: C23C16/458
Abstract: 本发明涉及一种工装及其应用,所述工装包括基座、支撑件以及多个串挂件。所述基座呈围合状设置,而具有中空部。所述支撑件安装于所述基座,并横跨所述中空部。所述多个串挂件互相间隔地安装于所述基座和所述支撑件。其中,每一所述串挂件可拆卸设置,而用于穿过工件的通孔以串挂所述工件。由于只有串挂件与工件的通孔的孔壁接触,所述工装不会接触到工件的工作表面,而避免了传统摆盘方式中工装会接触到工件的工作表面的情况,保证了工件上形成的CVD涂层的均匀性,提升了涂层工件的使用性能。
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公开(公告)号:CN115466933A
公开(公告)日:2022-12-13
申请号:CN202211047971.2
申请日:2022-08-30
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本发明涉及一种工装基座、工装及其应用,所述工装基座包括底盘结构和多个连接组件,所述多个连接组件沿周向间隔设于所述底盘结构上,每一所述连接组件的顶端设有连接部,所述连接部用于可拆卸连接供刀具基体安装的工件安装结构。所述工装基座提高了不同工装之间的零件的通用性,简化了不同工装的装配,显著降低了不同工装的生产成本。
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公开(公告)号:CN115125521B
公开(公告)日:2024-07-23
申请号:CN202210796009.2
申请日:2022-07-07
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
IPC: C23C16/458
Abstract: 本发明涉及一种工装及其应用,所述工装包括基座、支撑件以及多个串挂件。所述基座呈围合状设置,而具有中空部。所述支撑件安装于所述基座,并横跨所述中空部。所述多个串挂件互相间隔地安装于所述基座和所述支撑件。其中,每一所述串挂件可拆卸设置,而用于穿过工件的通孔以串挂所述工件。由于只有串挂件与工件的通孔的孔壁接触,所述工装不会接触到工件的工作表面,而避免了传统摆盘方式中工装会接触到工件的工作表面的情况,保证了工件上形成的CVD涂层的均匀性,提升了涂层工件的使用性能。
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公开(公告)号:CN115323339B
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202210916712.2
申请日:2022-08-01
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本发明公开了一种工装,包括工装单元和底盘,工装单元包括拨轮和传动机构,拨轮上设有多个安装件,传动机构与拨轮转动连接,传动机构用于带动安装件自转;底盘上设有多个工装单元。本发明中通过设置多个安装件,能够实现产品的安装,能够有效提高产品安装数量,提高单次镀膜产品数量,减小生产成本;通过设置传动机构,能够带动安装件自转,底盘安装到物理气相沉积设备后能够实现围绕物理气相沉积设备中心的公转、围绕工装中心的自转、围绕拨轮中心固定角度自转和安装件自转,能够使产品的涂层均匀性显著提升。
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公开(公告)号:CN115323339A
公开(公告)日:2022-11-11
申请号:CN202210916712.2
申请日:2022-08-01
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本发明公开了一种工装,包括工装单元和底盘,工装单元包括拨轮和传动机构,拨轮上设有多个安装件,传动机构与拨轮转动连接,传动机构用于带动安装件自转;底盘上设有多个工装单元。本发明中通过设置多个安装件,能够实现产品的安装,能够有效提高产品安装数量,提高单次镀膜产品数量,减小生产成本;通过设置传动机构,能够带动安装件自转,底盘安装到物理气相沉积设备后能够实现围绕物理气相沉积设备中心的公转、围绕工装中心的自转、围绕拨轮中心固定角度自转和安装件自转,能够使产品的涂层均匀性显著提升。
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公开(公告)号:CN219195113U
公开(公告)日:2023-06-16
申请号:CN202222293902.1
申请日:2022-08-30
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种工装及真空镀膜设备,所述工装包括底盘结构和多个工件安装组件,所述多个工件安装组件沿周向间隔设于所述底盘结构上,每一所述工件安装组件包括安装件。所述安装件包括底部和多个限位侧部,所述底部具有多个侧表面,所述底部用于承载刀具基体的底面或顶面。所述多个限位侧部连接所述底部,而与所述多个侧表面一一对应设置,每一所述限位侧部具有限位部分,所述限位部分位于对应的所述侧表面的外侧,所述限位部分用于限位所述刀具基体的侧面。所述工装的安装件结构简单,相对于磁吸方式的工装,所述工装的制作流程简单,缩短了周期,降低了费用。
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公开(公告)号:CN218146916U
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202222011996.9
申请日:2022-08-01
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本实用新型公开了一种工装单元及工装,包括拨轮、装配芯杆、套管和轴座,多个装配芯杆的下端与拨轮转动连接;套管设于装配芯杆上,多个套管与多个装配芯杆一一对应连接;轴座的上端与拨轮转动连接,轴座的下端伸出拨轮的下表面。本实用新型中,一个拨轮上设置多个套管,能够实现待镀膜产品的安装,多个套管具有多个产品安装工位,能够显著提高产品安装数量,在物理气相沉积设备有限的空间大小下可以容纳更多的产品,实现单次进行涂层的产品数量显著增加,减小生产成本。
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公开(公告)号:CN219117541U
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202222308159.2
申请日:2022-08-30
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种工装及真空镀膜设备,该工装包括底盘结构和多个工件安装组件,多个工件安装组件沿周向间隔设于底盘结构上,每一工件安装组件包括工件安装结构,工件安装结构的顶端的端面上开设有至少两贯穿槽。至少两贯穿槽包括沿第一方向设置的至少一第一贯穿槽和沿第二方向设置的至少一第二贯穿槽,第一方向与第二方向相交而使第一贯穿槽与第二贯穿槽相交。第一贯穿槽和第二贯穿槽用于交错堆叠刀具基体,并使刀具基体的两端伸出工件安装结构的侧面。该工装在相近的空间大小下可以容纳更多的刀具基体,增加了刀具基体的安装数量,提高了单次真空镀膜的刀具基体的数量,降低了涂层刀具的生产成本。
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公开(公告)号:CN219195114U
公开(公告)日:2023-06-16
申请号:CN202222299086.5
申请日:2022-08-30
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种工装及真空镀膜设备,所述工装包括底盘结构和多个工件安装组件,所述多个工件安装组件沿周向间隔设于所述底盘结构上,每一所述工件安装组件包括间隔设置的至少两安装件,每一所述安装件用于穿过刀具基体的通孔而堆叠所述刀具基体。所述工装增加刀具基体的安装数量,而提高单次真空镀膜的刀具基体的数量,进而降低涂层刀具的生产成本。
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公开(公告)号:CN218026321U
公开(公告)日:2022-12-13
申请号:CN202222009566.3
申请日:2022-08-01
Applicant: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 厦门钨业股份有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本实用新型公开了一种工装单元及工装,包括拨轮、安装芯杆和轴座,拨轮的外周设有多个轮齿;多个安装芯杆的下端与拨轮转动连接,安装芯杆的上端伸出拨轮,安装芯杆的上端用于套设待镀膜产品;轴座的上端与拨轮转动连接,轴座的下端伸出拨轮的下表面待镀膜产品。本实用新型的安装芯杆能够实现产品的安装,多个安装芯杆具有多个产品安装工位,能够显著提高产品安装数量,在物理气相沉积设备有限的空间大小下可以容纳更多的产品,实现单次进行镀膜的产品数量显著增加,减小生产成本。
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