公开(公告)号：CN109426069A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201711237662.0

申请日：2017-11-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王琮瑜 ,  郑年富 ,  江嘉评 ,  池明辉 ,  黄文俊 ,  高蔡胜

IPC: G03F1/76

Abstract: 本发明实施例提供产生心轴图案的方法。通过建构边框，启动多个前导心轴，以及将前导心轴延伸横跨边框，以产生心轴图案。当图案区域包含孔洞时，在延伸前导心轴之后，从前述孔洞中移除心轴的一部分。本发明实施例的方法可以提升在10nm节点及5nm节点制造中产生掩模的品质及效率。

公开(公告)号：CN109582991B

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN201711240590.5

申请日：2017-11-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 江嘉评 ,  池明辉 ,  许志玮 ,  吴秉杰 ,  张雅婷 ,  王琮瑜 ,  郑文立 ,  鄞晖恩 ,  黄文俊 ,  刘如淦 ,  高蔡胜

IPC: G06F30/392

Abstract: 本公开的实施例提供了一种电路布局着色方法，通过坐标对多重图案化技术MPT相容的布局设计中，G0链接网络的节点进行排序及预着色，在一实施例中，一种方法识别一电路布局中的目标网络，每一目标网络具有表示电路图案的两个或多个链接节点，并且每一目标网络呈现在一虚拟X‑Y坐标平面中，将一第一特征分配给每一目标网络中的一第一节点，使用一基于坐标的方法确定该第一节点，以及以交替的方式将该第一特征及一第二特征分配给每一目标网络中的其余节点，使每一目标网络中任意两个紧邻的链接节点具有不同特征。避免了制造半导体元件的不确定性。

公开(公告)号：CN109582991A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201711240590.5

申请日：2017-11-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 江嘉评 ,  池明辉 ,  许志玮 ,  吴秉杰 ,  张雅婷 ,  王琮瑜 ,  郑文立 ,  鄞晖恩 ,  黄文俊 ,  刘如淦 ,  高蔡胜

IPC: G06F17/50

Abstract: 本公开的实施例提供了一种电路布局着色方法，通过坐标对多重图案化技术MPT相容的布局设计中，G0链接网络的节点进行排序及预着色，在一实施例中，一种方法识别一电路布局中的目标网络，每一目标网络具有表示电路图案的两个或多个链接节点，并且每一目标网络呈现在一虚拟X-Y坐标平面中，将一第一特征分配给每一目标网络中的一第一节点，使用一基于坐标的方法确定该第一节点，以及以交替的方式将该第一特征及一第二特征分配给每一目标网络中的其余节点，使每一目标网络中任意两个紧邻的链接节点具有不同特征。避免了制造半导体元件的不确定性。