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公开(公告)号：CN105952645A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610214330.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 山东伯仲真空设备股份有限公司 , 合肥工业大学
CPC classification number: F04C25/02 , F04C18/084 , F04C18/16
Abstract: 本发明公开了一种用于螺杆真空泵的圆弧型线螺杆转子，由共轭传动的阳螺杆转子和阴螺杆转子组成，阳螺杆转子、阴螺杆转子的型线分别由依次首尾光滑相连的外圆弧共轭线、内凹圆弧线、齿根圆包络线、点啮合摆线、齿顶圆包络线构成，圆弧型线螺杆进气端直径大于排气端直径。本发明螺杆转子的齿顶圆包络线比齿根圆包络线长，有利于螺杆转子加工，提高了工艺性。本发明的阴阳转子外形预留转子工作过程中的热形变量，进气端大，排气端小，形成合理的装配间隙，利用转子形状补偿排气端较大热形变量，解决转子排气端热膨胀量对螺杆真空泵装配间隙的影响。
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公开(公告)号：CN105386972B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510918080.3
申请日：2015-12-09
Applicant: 合肥工业大学 , 山东伯仲真空设备股份有限公司
IPC: F04C18/107 , F04C27/00 , F04C25/02 , F04C29/04 , F04C29/02
Abstract: 本发明公开了一种具有动密封结构的螺杆真空泵。包括泵体、前端盖、后端盖、轴和转子，其中轴和前端盖之间设有密封机构。所述密封机构还包括冷却套管，冷却套管内设有冷却通道，冷却通道内设有冷却介质，作用在于隔绝了温度从转子沿轴向轴封部位的传递，降低了机械密封组件的工作温度。在密封机构的密封静环的摩擦副表面上进行了表面织构处理，作用在于有效降低摩擦副的表面磨损，降低摩擦副端面温升，同时利用冷却套管在轴和转子之间形成绝热层，阻挡温度向排气端轴封的传递，改善轴封组件的工作环境，从而提高了密封组件的寿命。
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公开(公告)号：CN105386972A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510918080.3
申请日：2015-12-09
Applicant: 合肥工业大学 , 山东伯仲真空设备股份有限公司
IPC: F04C18/107 , F04C27/00 , F04C25/02 , F04C29/04 , F04C29/02
CPC classification number: F04C18/107 , F04C25/02 , F04C27/00 , F04C29/02 , F04C29/04
Abstract: 本发明公开了一种具有动密封结构的螺杆真空泵。包括泵体、前端盖、后端盖、轴和转子，其中轴和前端盖之间设有密封机构。所述密封机构还包括冷却套管，冷却套管内设有冷却通道，冷却通道内设有冷却介质，作用在于隔绝了温度从转子沿轴向轴封部位的传递，降低了机械密封组件的工作温度。在密封机构的密封静环的摩擦副表面上进行了表面织构处理，作用在于有效降低摩擦副的表面磨损，降低摩擦副端面温升，同时利用冷却套管在轴和转子之间形成绝热层，阻挡温度向排气端轴封的传递，改善轴封组件的工作环境，从而提高了密封组件的寿命。
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公开(公告)号：CN205260306U
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201521029481.5
申请日：2015-12-09
Applicant: 合肥工业大学 , 山东伯仲真空设备股份有限公司
IPC: F04C18/107 , F04C27/00 , F04C25/02 , F04C29/04 , F04C29/02
Abstract: 本实用新型公开了一种具有动密封结构的螺杆真空泵。包括泵体、前端盖、后端盖、轴和转子，其中轴和前端盖之间设有密封机构。所述密封机构还包括冷却套管，冷却套管内设有冷却通道，冷却通道内设有冷却介质，作用在于隔绝了温度从转子沿轴向轴封部位的传递，降低了机械密封组件的工作温度。在密封机构的密封静环的摩擦副表面上进行了表面织构处理，作用在于有效降低摩擦副的表面磨损，降低摩擦副端面温升，同时利用冷却套管在轴和转子之间形成绝热层，阻挡温度向排气端轴封的传递，改善轴封组件的工作环境，从而提高了密封组件的寿命。
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公开(公告)号：CN205533238U
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201620285298.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 山东伯仲真空设备股份有限公司 , 合肥工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于螺杆真空泵的圆弧型线螺杆转子，由共轭传动的阳螺杆转子和阴螺杆转子组成，阳螺杆转子、阴螺杆转子的型线分别由依次首尾光滑相连的外圆弧共轭线、内凹圆弧线、齿根圆包络线、点啮合摆线、齿顶圆包络线构成，圆弧型线螺杆进气端直径大于排气端直径。本实用新型螺杆转子的齿顶圆包络线比齿根圆包络线长，有利于螺杆转子加工，提高了工艺性。本实用新型的阴阳转子外形预留转子工作过程中的热形变量，进气端大，排气端小，形成合理的装配间隙，利用转子形状补偿排气端较大热形变量，解决转子排气端热膨胀量对螺杆真空泵装配间隙的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111636050B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202010503432.X
申请日：2020-06-05
Applicant: 合肥工业大学
IPC: C23C14/22
Abstract: 本发明公开了一种微孔内壁导电层的制作方法，通过离子发射源发射离子，离子在两片多孔薄电极的电场作用下聚焦，精准进入基片微孔，在孔内发生碰撞，沉积在微孔内壁形成薄膜；方法中的结构有：真空室、离子发射源、聚焦极、加速极、微孔基片；多孔薄电极有：聚焦极、加速极；聚焦极施加高电位电压，加速极施加低电位电压。本发明通过调变电极板孔径、电极板电势差、两极板间距，可以有效的调变离子束聚焦位置和聚焦程度大小，微孔基片在距加速极板3‑20mm内都可以进行有效沉积，可对直径为0.1‑3mm基板孔进行沉积，离子利用率可达到40％‑70％，与传统投影入射相比，离子入孔效率提升一至两个数量级，有效地解决微孔内壁镀膜效率低的难题。
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公开(公告)号：CN109796710B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN201811568186.5
申请日：2018-12-21
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化石墨烯稀土配合物复合紫外增强薄膜的制备方法，此方法将一类吸收波段在240‑400nm的稀土配合物荧光材料和PVA聚合物混在乙醇水溶液中，制备了高效紫外增强薄膜，并制备了相应的膜增强CCD。基于此，利用此种方法制备的紫外增强薄膜在光电探测尤其是紫外探测方面具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN112857695A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110057083.8
申请日：2021-01-15
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明公开了一种激光陀螺稳定充气和高精度检漏系统,其包括激光陀螺充气装置、氦质谱检漏装置以及真空排气机组，激光陀螺充气装置包括氦气瓶、氖气瓶、混气室、压力传感器、质量流量计以及与激光陀螺相连接的进气管；激光陀螺的氦质谱检漏装置包括氦质谱检漏仪、真空排气机组及喷枪；真空排气机组由机械泵、分子泵、真空计以及真空排气管道组成。本发明将激光陀螺检漏装置和激光陀螺充气封装装置系统地结合在一起，使得这一系列过程衔接得更为紧密，节约成本，提高了生产效率，采用喷吹法氦质谱检漏技术，极大地提高了激光陀螺的检漏精度，最小可检漏率可达10‑12pa*m3/s的量级。
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公开(公告)号：CN109216149B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201811109448.1
申请日：2018-09-21
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置，该装置包含静电聚焦系统、静电分析器、栅网、微通道板、固定顶帽和静电分析器的侧支撑结构、固定静电分析器的支撑结构等；静电聚焦系统由上下各三组同轴的金属圆环电极组成，各个环状电极由内到外半径依次增加；静电分析器为半球状；包括顶帽、内半球以及外半球。本发明在传统的低能离子能量分析装置的准直区设置了金属圆环静电聚焦系统，该静电聚焦系统可同时对进入分析器的带电粒子束实现准直和聚焦，增加了分析器对入射气体的接收角范围；同时由于聚焦系统对带电粒子束的聚焦作用，提高了静电分析器的检测离子能量的灵敏度和效率。
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公开(公告)号：CN110783158A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911072098.0
申请日：2019-11-05
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H01J23/06 , H01J23/04 , H01J23/087
Abstract: 本发明公开了一种小型化低能栅控冷阴极电子枪，该装置包括阴极、栅极、静电聚焦电极与固定装配各电极的结构等；装配各电极的结构有：顶件、底座、陶瓷棒、绝缘垫片、阳极衬套、固定隔离支架、栅极衬套、弹簧、电极法兰；静电聚焦电极有：聚焦极、阳极、减速极；本发明利用COMSOL带电粒子追踪模块对电子枪的结构参数及电学参数进行优化修正，得到了电子枪中电极间距、厚度、电压等参数的较优数值。本发明发射出的电子束有束流强度大、束能量低、发散角小的优点，在各种离子源中有广泛的应用前景。
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