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公开(公告)号：CN107768288B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN201711187365.X
申请日：2017-11-24
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，包括上壳体，所述上壳体底部设有下壳体，所述上壳体内部设有热处理炉管，所述热处理炉管内部设有承载板，所述承载板底部设有温度传感器，所述热处理炉管两侧均设有进气管，所述热处理炉管一侧面设有加料口以及另一侧面设有测氧管，所述加料口侧面设有电子门，所述测氧管端部设有氧气含量检测仪。本发明通过将进气管倾斜设置，以便于使得热处理炉管内部的氮气呈螺旋状上升，从而利用氮气对晶圆进行搅拌，保证排胶效果及排胶过程中的温度均匀性，同时由于氮气的搅拌效果，使得热处理炉管内气氛更为均匀，缩短氮气置换时间，有效提高加工效率，使得本发明具有更高的实用性。
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公开(公告)号：CN112455925A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011239631.0
申请日：2020-11-09
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽真空管路，粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路，另一方面分别对应连接有粗、精抽泵；控制器分别与光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽泵电连接。本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。
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公开(公告)号：CN110500878A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910844264.8
申请日：2019-09-06
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统、温度控制系统、过风通道、多个进风口、出风口、托板、测温元件、加热器、触摸屏、蜂鸣器和指示灯；真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件、氧含量分析仪和电磁阀；风冷降温系统包括有空气放大器；温度控制系统包括有温控仪。本发明结构简单，成本低，实现了固化炉的自动化控制，避免了出现超温、炉膛变形、加热不均、气氛不足等问题，保证了固化炉的正常工作和工作效率。
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公开(公告)号：CN107768288A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201711187365.X
申请日：2017-11-24
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/67253 , H01L21/67742
Abstract: 本发明公开了一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，包括上壳体，所述上壳体底部设有下壳体，所述上壳体内部设有热处理炉管，所述热处理炉管内部设有承载板，所述承载板底部设有温度传感器，所述热处理炉管两侧均设有进气管，所述热处理炉管一侧面设有加料口以及另一侧面设有测氧管，所述加料口侧面设有电子门，所述测氧管端部设有氧气含量检测仪。本发明通过将进气管倾斜设置，以便于使得热处理炉管内部的氮气呈螺旋状上升，从而利用氮气对晶圆进行搅拌，保证排胶效果及排胶过程中的温度均匀性，同时由于氮气的搅拌效果，使得热处理炉管内气氛更为均匀，缩短氮气置换时间，有效提高加工效率，使得本发明具有更高的实用性。
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公开(公告)号：CN110373517B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201910764950.4
申请日：2019-08-19
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
IPC: C21C7/10
Abstract: 本发明公开了一种全自动高真空除气炉，本发明涉及真空除气炉技术领域，包括除气炉本体，除气炉本体包括设置在其内从左向右的装卸腔、过渡段、加热腔和对原料加热完成后的回推腔，且装卸腔和加热腔之间通过过渡段连接，装卸腔和加热腔上均设置有对二者内部进行真空处理的真空控制系统；本发明第一步进电机正转启动后，可以将放置在链条一上盛放有原料的料盒通过推送板一和过渡段推入传送带上两个导向杆组之间，第二步进电机启动后，链条二会通过齿轮三和齿轮四的作用进行转动，这时，链条二就会带动导向杆组内盛放原料的料盒进行移动，进而将料盒传送到加热板内指定位置的加热器上进行加热，盛放原料的料盒和在加热板上加热完成后。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110425880A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910764287.8
申请日：2019-08-19
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空烤盘炉，本发明涉及烤炉盘技术领域，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，炉体包括有外壳和内腔，外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，内腔的前、后端均开设有通风孔，内腔中设置有加热组件；本发明通过上述相关结构的配合使用，炉体内需要真空状态时，打开气阀，PLC可以控制旋片式真空泵或罗茨真空泵对炉体内的空气进行抽离，直到将炉体抽至真空状态，度热电偶可以对炉体内的温度进行检测，然后将炉体内的温度信息依次传递给温度仪和PLC，然后PLC将温度信息传递给炉体外部的触摸屏，然后触摸屏控制PLC对炉体内的温度进行调控。
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公开(公告)号：CN110373517A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910764950.4
申请日：2019-08-19
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
IPC: C21C7/10
Abstract: 本发明公开了一种全自动高真空除气炉，本发明涉及真空除气炉技术领域，包括除气炉本体，除气炉本体包括设置在其内从左向右的装卸腔、过渡段、加热腔和对原料加热完成后的回推腔，且装卸腔和加热腔之间通过过渡段连接，装卸腔和加热腔上均设置有对二者内部进行真空处理的真空控制系统；本发明第一步进电机正转启动后，可以将放置在链条一上盛放有原料的料盒通过推送板一和过渡段推入传送带上两个导向杆组之间，第二步进电机启动后，链条二会通过齿轮三和齿轮四的作用进行转动，这时，链条二就会带动导向杆组内盛放原料的料盒进行移动，进而将料盒传送到加热板内指定位置的加热器上进行加热，盛放原料的料盒和在加热板上加热完成后。
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公开(公告)号：CN107843073A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201711187381.9
申请日：2017-11-24
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
CPC classification number: F26B9/06 , F26B21/001 , F26B21/003 , F26B21/004 , F26B21/04 , F26B21/12 , F26B21/14 , F26B25/12
Abstract: 本发明公开了一种集成电路圆片级专用PI无氧固化炉，包括箱体，所述箱体一侧设有控制箱，所述控制箱前侧设有控制面板，所述箱体顶部设有蜂鸣器，所述箱体内部设有上膛体和下膛体，所述下膛体设置于上膛体底部，所述上膛体和下膛体前侧均设有活动门。本发明鼓风循环风机将吸收回来的热风通过抽气管抽出并经过出气管排至氮气进管与补充的新鲜氮气汇合，一部分气体携带烘干处理产生的废物从排气管排出，大部分气体进入风道内，通过加热元件，携带走加热元件的热量，进入上膛体和下膛体内对产品进行均匀加热，然后由鼓风循环风机重新吸回，如此往返循环加热，加热快速高效，冷却时通入高压氮气循环冷却。
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公开(公告)号：CN207765410U
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201721587556.0
申请日：2017-11-24
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本实用新型公开了一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱，包括箱体，所述箱体前侧设有单扇门，所述单扇门一侧设有控制箱，所述控制箱上设有操作面板，所述操作箱上设有显示屏。本实用新型通过采用不锈钢材料的工作室，便于清洁卫生，使用空间大，采用硅橡胶材料制成的密封条，人性化的环保意识，保护使用人员的身体健康，设有进气电磁阀和手动调压阀气路辅助装置，同时利用抽气管进行氮气填充，利用氮气不活泼的化学性质，提升了使用时的安全性，通过采用数字式的电阻真空计配合压力传感器，利用工作室内气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化，从而提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN207540361U
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201721587558.X
申请日：2017-11-24
Applicant: 合肥真萍电子科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种红外传感芯片专用除气真空炉，包括机体，所述机体内部设有工作室，所述机体一侧设有加热壳体，所述机体另一侧设有压力传感器，所述压力传感器底部设有真空放气阀，所述真空放气阀底部设有手动微调阀，所述手动微调阀底部设有真空泵，所述压力传感器、真空放气阀、手动微调阀和真空泵均与机体连通，所述机体后侧设有水冷装置。本实用新型通过设有工作室，工作室采用优质不锈钢板制成，保证降温速率和温控的灵敏度，并保证工作室在低气压状态下有较好的温度均匀性，内壁进行打磨钝化处理,使表面光滑,以降低工作室的放气率，工作室与集体之间设有隔热层，增加保温性能，并使得整个试验箱的性能得以保证。
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