公开(公告)号：CN104507249A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410756311.0

申请日：2014-12-09

Applicant: 吉林大学

Inventor： 于永 ,  王兴华 ,  张寒琦 ,  冯果栋 ,  单洪岩 ,  霍阳 ,  赵振英 ,  王小艳 ,  于爱华 ,  梁芳慧 ,  霍德发 ,  夏国海 ,  于爱民

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明公开了一种矩形波导微波等离子体源发生装置，包括矩形波导谐振腔，载气模块，调节模块，光路模块，电路控制系统，维持气控制系统，样品载气控制系统。本发明提供了一种矩形波导微波等离子体源发生装置，激发能量可以从200瓦到数千瓦，在电路控制系统的作用下，微波能量在谐振腔中将通过的载气电离形成等离子体，这种等离子体含有样品光谱信息并可以通过光路模块传递出来，以实现对介质气中的物质进行分析的目的。