一种三维喷头调节装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118080226A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410099556.4

    申请日:2024-01-24

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种三维喷头调节装置,属于喷头技术领域,包括固定架和离子源喷头,所述固定架的上表面贯穿固定安装有Z轴升降总成,所述Z轴升降总成的活动端固定连接有X轴移动总成,所述X轴移动总成的活动端固定连接有Y轴移动总成,本发明采用装载多个电缸的直接调控方式控制多个离子源喷头在X、Y、Z轴方向的移动和喷头角度的旋转,该设计具有操作简单,稳定,调节精度高等特点,直接通过软件终端实现对喷头参数的精确调控,三维调控精度在微米级别。该设计满足了在喷雾过程中喷头参数的实时调控,进而调控两喷头喷雾区,实现最大交叠和喷雾区覆盖范围的调节,确保了每次实验过程中喷头参数的重现性,提高了制备实验的重复性。

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