公开(公告)号：CN113314641A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110590638.5

申请日：2021-05-28

Applicant: 吉林建筑大学

Inventor： 高晓红 ,  孙玉轩 ,  付钰 ,  郭亮 ,  陈伟利 ,  杨佳 ,  赵阳 ,  杨帆 ,  迟耀丹 ,  杨小天

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/113 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/0224

Abstract: 本发明公开了一种日盲紫外光敏晶体管的制备方法，包括：步骤一、对衬底进行预处理，通过光刻剥离技术曝光显影出栅极区域，在栅极区域蒸镀导电膜；步骤二、通过光刻剥离技术曝光显影出第一堆叠区域，并在所述第一堆叠区域通过原子层沉积得到绝缘层；步骤三、通过光刻剥离技术曝光显影出第二堆叠区域，并在所述第二堆叠区域上通过原子层沉积得到有源层；步骤四、通过光刻剥离技术曝光显影出第三堆叠区域，并在所述第三堆叠区域上通过沉积得到叉指电极层；其中，所述导电膜为金属或氧化物导电膜，所述绝缘层为高介电常数的氧化物绝缘体，所述有源层为氧化镓和氮化铝，所述叉指电极层为金属或导电氧化物。能够提高光电探测特性，增强器件稳定性。