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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104868054B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201510204102.X
申请日：2015-04-28
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L51/00
Abstract: 本发明涉及一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法，属于微电子技术领域。选取平的硬质衬底和柔性衬底，清洗、吹干、烘干，所述硬质衬底材料为石英片，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺PI、对苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA；衬底粘合，利用粘合材料将硬质衬底和柔性衬底较好地粘合、固定，所述衬底粘合材料为光刻胶。本发明解决了柔性衬底材料在工艺过程中的弯曲、翘曲问题，同时，解决了衬底间产生气泡的问题。保证了柔性衬底在功能材料生长与器件制备过程中的平整度，可以应用于柔性可穿戴电子技术、柔性显示、柔性传感器、柔性太阳能电池等技术领域中。
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公开(公告)号：CN104934329A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510205191.X
申请日：2015-04-28
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L21/34
CPC classification number: H01L29/66969
Abstract: 本发明涉及一种基于柔性衬底材料氧化锌薄膜晶体管的制备方法，属于微电子技术领域。包括硬质衬底和柔性衬底的清洗、吹干、烘干，衬底粘合，栅极材料沉积，绝缘层材料沉积，氧化锌沟道层材料沉积，源漏电极沉积。优点是，在室温状态下即可制备、且工艺简便易行、成本低，可应用于柔性显示技术领域。
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公开(公告)号：CN104868054A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510204102.X
申请日：2015-04-28
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L51/00
CPC classification number: H01L51/003 , H01L51/0097
Abstract: 本发明涉及一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法，属于微电子技术领域。选取平的硬质衬底和柔性衬底，清洗、吹干、烘干，所述硬质衬底材料为石英片，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺PI、对苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA；衬底粘合，利用粘合材料将硬质衬底和柔性衬底较好地粘合、固定，所述衬底粘合材料为光刻胶。本发明解决了柔性衬底材料在工艺过程中的弯曲、翘曲问题，同时，解决了衬底间产生气泡的问题。保证了柔性衬底在功能材料生长与器件制备过程中的平整度，可以应用于柔性可穿戴电子技术、柔性显示、柔性传感器、柔性太阳能电池等技术领域中。
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公开(公告)号：CN111224020A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010035269.9
申请日：2020-01-14
Applicant: 吉林建筑大学
Abstract: 本发明公开一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，包括步骤1：在衬底上均匀旋转涂覆光刻胶并干燥，光刻后，在所述衬底上获得多组图案化电极结构区域；步骤2：通过压电喷涂方法在所述图案化电极结构区域上喷涂金属粒子墨水，并干燥固化得到金属电极层；其中，喷涂金属粒子墨水时，喷涂的针尖与所述衬底的距离小于等于45～50μm；喷涂电压为200～230V，喷涂速度为0.8～1.3mm/s，喷涂厚度为50～70nm；步骤3：将所述衬底置于有机溶剂中，剥离光刻胶获得边界整齐的薄膜电极。基于喷墨与光刻相结合手段，有效解决了采用喷墨印刷方法沉积薄膜电极材料时电极材料边界不光滑、不整齐问题。
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公开(公告)号：CN111223770A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010034480.9
申请日：2020-01-14
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L21/28 , H01L21/283
Abstract: 本发明涉及一种边缘整齐、光滑的图案化薄膜电极材料生长方法，涉及微纳电子器件制备领域。解决现有技术中3D打印方法图案化薄膜电极材料边界不光滑、不整齐的技术问题。本发明提供的边缘整齐、光滑的图案化薄膜电极材料生长方法，其是采用3D打印方法与光刻技术结合薄膜电极材料生长新方法，可实现较低温度条件下制备薄膜电极，降低传统电子制备方法制备电极过程中的能耗与提高薄膜电极材料沉积效率，更为重要的一点是从根本上解决了3D打印形成的图案化薄膜电极材料边界不光滑、不整齐问题，制备得到的图案化薄膜电极材料边缘整齐、光滑(如摘要附图)，具有广阔的应用前景。
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