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公开(公告)号:CN109557442B
公开(公告)日:2021-12-14
申请号:CN201811404082.0
申请日:2018-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国空间技术研究院 , 锦州七七七微电子有限责任公司
Abstract: 本发明提供了一种线性电路辐射缺陷提取方法,其包括:步骤100,对线性电路进行分析,确定待分离的分立器件;步骤200,对待分离的所述分立器件进行切割分离;步骤300,测试分离后的所述分立器件电性能,进行筛选;步骤400,从筛选后的所述分立器件中引出电极;步骤500,通过引出的所述电极对所述分立器件进行缺陷测试。本发明所述的线性电路辐射缺陷提取方法,通过切割筛选的方式,对线性电路中的分立器件进行分离,并引出电极,从而可以对线性电路中的分立器件独立地进行缺陷测试,从而丰富现有的低剂量率增强效应的研究,达到更好的研究效果。
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公开(公告)号:CN115061029B
公开(公告)日:2024-08-23
申请号:CN202210759798.2
申请日:2022-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明提供一种识别AlGaN/GaN‑HEMTs中电活性辐射缺陷分布区域的方法,包括:测试AlGaN/GaN‑HEMTs的电化学性能,确定器件的开态、半开态和关态的栅极电压范围;在不同栅极电压下对AlGaN/GaN‑HEMTs进行深能级缺陷测试;分析不同栅极电压条件下AlGaN/GaN‑HEMTs中电活性辐射缺陷的分布区域。本发明提供的识别AlGaN/GaN‑HEMTs中电活性辐射缺陷分布区域的方法既能够确定缺陷浓度,还能够确定缺陷的位置,且步骤简单,易于操作,对材料和器件空间环境效应具有重大的意义。
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公开(公告)号:CN115061029A
公开(公告)日:2022-09-16
申请号:CN202210759798.2
申请日:2022-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明提供一种识别AlGaN/GaN‑HEMTs中电活性辐射缺陷分布区域的方法,包括:测试AlGaN/GaN‑HEMTs的电化学性能,确定器件的开态、半开态和关态的栅极电压范围;在不同栅极电压下对AlGaN/GaN‑HEMTs进行深能级缺陷测试;分析不同栅极电压条件下AlGaN/GaN‑HEMTs中电活性辐射缺陷的分布区域。本发明提供的识别AlGaN/GaN‑HEMTs中电活性辐射缺陷分布区域的方法既能够确定缺陷浓度,还能够确定缺陷的位置,且步骤简单,易于操作,对材料和器件空间环境效应具有重大的意义。
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公开(公告)号:CN109557442A
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201811404082.0
申请日:2018-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国空间技术研究院 , 锦州七七七微电子有限责任公司
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明提供了一种线性电路辐射缺陷提取方法,其包括:步骤100,对线性电路进行分析,确定待分离的分立器件;步骤200,对待分离的所述分立器件进行切割分离;步骤300,测试分离后的所述分立器件电性能,进行筛选;步骤400,从筛选后的所述分立器件中引出电极;步骤500,通过引出的所述电极对所述分立器件进行缺陷测试。本发明所述的线性电路辐射缺陷提取方法,通过切割筛选的方式,对线性电路中的分立器件进行分离,并引出电极,从而可以对线性电路中的分立器件独立地进行缺陷测试,从而丰富现有的低剂量率增强效应的研究,达到更好的研究效果。
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