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公开(公告)号：CN109470177A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811480218.6
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于双光栅的三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；本发明采用一维平面反射光栅、1/4波片以及一维平面透射光栅组成的组合靶标作为敏感器件，通过光电探测器探测经过组合靶标作用后返回的待测光束的方向变化量来探测组合靶标的三维角度变化值，实现三维角度变化量的精密测量；本发明采用双光栅作为敏感器件，保证待测光束与入射光束光轴平行，在实现高精度三维角度变化量同时测量的同时，极大的增加了测量系统的工作距离，并且使整个测量系统更加紧凑。
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公开(公告)号：CN109470177B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201811480218.6
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于双光栅的三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；本发明采用一维平面反射光栅、1/4波片以及一维平面透射光栅组成的组合靶标作为敏感器件，通过光电探测器探测经过组合靶标作用后返回的待测光束的方向变化量来探测组合靶标的三维角度变化值，实现三维角度变化量的精密测量；本发明采用双光栅作为敏感器件，保证待测光束与入射光束光轴平行，在实现高精度三维角度变化量同时测量的同时，极大的增加了测量系统的工作距离，并且使整个测量系统更加紧凑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109443248B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201811479495.5
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于光栅的共光路跟随式高精度三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；本发明采用一维平面反射光栅作为敏感器件，实现了敏感器件的三维角度变化量测量，利用一维平面透射光栅以及偏振分光镜组作为补偿机构，通过共光路补偿提高了角度的测量精度和测量稳定性，同时采用跟随式补偿方式提高了旋转角的测量范围；本发明的方法与装置，在实现三维角度高精度、高稳定性测量的同时，增大了旋转角的测量范围，方法科学合理，装置结构紧凑。
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公开(公告)号：CN109443249A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811485069.2
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术；本发明采用一维平面透射光栅作为敏感器件，实现了敏感器件的滚转角变化量测量；本发明解决了现有方法与装置中的测量精度低、工作距离短等不足，利用双衍射光束进行差动测量，消除了由光源光束角度漂移引入的测量误差；待测光束与光轴平行，极大地增大了测量装置的工作距离，同时使探测结构更挤紧凑；激光光束两次经过透射光栅作用，使系统测量分辨力提高了一倍；该测量系统消除了偏摆角和俯仰角对旋转角测量的影响；更换不同线对的光栅可满足不同测量精度的要求。
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公开(公告)号：CN109579744B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201811479842.4
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；本发明采用一维反射光栅作为敏感器件，一维透射光栅作为光路校正器件，保证待测光束与入射光束光轴平行，在实现高精度三维角度变化量测量的同时，极大的增加了测量系统的工作距离，同时使整个测量系统更加紧凑；同时为了避免俯仰角与旋转角由于彼此耦合而限制该两方向的角度变化量测量范围，采用跟随式补偿测量方法与装置，在解除俯仰角的测量范围限制的同时，提高了旋转角的测量范围；本发明解决了现有方法与装置中的不足，实现了高精度、大范围三维角度测量。
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公开(公告)号：CN109579744A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811479842.4
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；本发明采用一维反射光栅作为敏感器件，一维透射光栅作为光路校正器件，保证待测光束与入射光束光轴平行，在实现高精度三维角度变化量测量的同时，极大的增加了测量系统的工作距离，同时使整个测量系统更加紧凑；同时为了避免俯仰角与旋转角由于彼此耦合而限制该两方向的角度变化量测量范围，采用跟随式补偿测量方法与装置，在解除俯仰角的测量范围限制的同时，提高了旋转角的测量范围；本发明解决了现有方法与装置中的不足，实现了高精度、大范围三维角度测量。
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公开(公告)号：CN109443248A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811479495.5
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于光栅的共光路跟随式高精度三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；本发明采用一维平面反射光栅作为敏感器件，实现了敏感器件的三维角度变化量测量，利用一维平面透射光栅以及偏振分光镜组作为补偿机构，通过共光路补偿提高了角度的测量精度和测量稳定性，同时采用跟随式补偿方式提高了旋转角的测量范围；本发明的方法与装置，在实现三维角度高精度、高稳定性测量的同时，增大了旋转角的测量范围，方法科学合理，装置结构紧凑。
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