公开(公告)号：CN101053864A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200710072211.6

申请日：2007-05-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘延杰 ,  孙立宁 ,  张乐敏

IPC: B06B3/02 ,  B06B1/06 ,  B23K20/10 ,  H01L21/607

Abstract: 本发明提供的是一种并联复合式超声波能量传输装置。它包括并联复合式超声波变幅杆、压电超声换能器以及变幅杆前端的工作劈刀。两套单向振动变幅杆在工作端刚性连接，并联复合式超声波变幅杆通过弹性梁固定在音圈电机的动平台上。本发明提出了一种新型的并联复合式超声波能量传输装置，用来提高引线键合效率。本发明既满足增大超声波变幅杆末端劈刀轨迹覆盖面积的要求，同时，增大了超声波能量密度，减少键合时间，提高键合效率的目的。

公开(公告)号：CN101053864B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200710072211.6

申请日：2007-05-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘延杰 ,  孙立宁 ,  张乐敏

IPC: B06B3/02 ,  B06B1/06 ,  B23K20/10 ,  H01L21/607

Abstract: 本发明提供的是一种并联复合式超声波能量传输装置。它包括并联复合式超声波变幅杆、压电超声换能器以及变幅杆前端的工作劈刀。两套单向振动变幅杆在工作端刚性连接，并联复合式超声波变幅杆通过弹性梁固定在音圈电机的动平台上。本发明提出了一种新型的并联复合式超声波能量传输装置，用来提高引线键合效率。本发明既满足增大超声波变幅杆末端劈刀轨迹覆盖面积的要求，同时，增大了超声波能量密度，减少键合时间，达到提高键合效率的目的。