公开(公告)号：CN1231743C

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200410013761.7

申请日：2004-05-19

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张琢 ,  浦昭邦 ,  陶卫 ,  刘国栋

IPC: G01B11/26 ,  G02B6/34 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开一种测角元件，还公开应用该测角元件的转角测量装置。一种光栅楔形平板(1)，它由上下平面间夹成楔形的玻璃楔形平板(1-1)和加工在玻璃楔形平板(1-1)倾斜表面(101)上的反射式闪耀光栅(1-2)组成，(1-2)是若干个以中心轴(102)为中心的同心圆形分布的刻划面。应用光栅楔形平板(1)的转角测量装置，它由双频激光干涉仪(2)、干涉模块(3)和光栅楔形平板(1)组成，(2)由双频激光光源(2-1)和光电接收器(2-2)组成，(3)由偏振分光镜(3-1)、两块相同的λ/4波片(3-2)、直角棱镜(3-3)和角锥棱镜(3-4)组成，加工有闪耀光栅(1-2)的倾斜表面(101)背向(3)。由于本发明采用激光光学测角方法，响应迅速，因此动态响应范围大。本发明具有设计新颖、工作可靠和具有较大推广价值的优点。

公开(公告)号：CN1580693A

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：CN200410013761.7

申请日：2004-05-19

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张琢 ,  浦昭邦 ,  陶卫 ,  刘国栋

IPC: G01B11/26

Abstract: 本发明公开一种测角元件，还公开应用该测角元件的转角测量装置。一种光栅楔形平板(1)，它由上下平面间夹成楔形的玻璃楔形平板(1－1)和加工在玻璃楔形平板(1－1)倾斜表面(101)上的反射式闪耀光栅(1－2)组成，(1－2)是若干个以中心轴(102)为中心的同心圆形分布的刻划面。应用光栅楔形平板(1)的转角测量装置，它由双频激光干涉仪(2)、干涉模块(3)和光栅楔形平板(1)组成，(2)由双频激光光源(2－1)和光电接收器(2－2)组成，(3)由偏振分光镜(3－1)、两块相同的λ/4波片(3－2)、直角棱镜(3－3)和角锥棱镜(3－4)组成，加工有闪耀光栅(1－2)的倾斜表面(101)背向(3)。由于本发明采用激光光学测角方法，响应迅速，因此动态响应范围大。本发明具有设计新颖、工作可靠和具有较大推广价值的优点。

公开(公告)号：CN2148311Y

公开(公告)日：1993-12-01

申请号：CN92225165.7

申请日：1992-06-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李鹏生 ,  强锡富 ,  于英满 ,  张琢 ,  赵慧杰 ,  李华 ,  甘敦文

IPC: G01B11/30

Abstract: 本实用新型为亚微米级超精加工表面的非接触式微观形貌测量提供了一种超高精度的激光测头。它由激光器、反射镜、望远系统、分光镜、截距调节装置和光电接收器组成，激光束通过渥拉斯顿棱镜的分光，在工件表面上形成两个探测光点，采用相位比较的信号处理系统，测量分辨率比现有最高水平提高10％。该测头结构紧凑，使用方便，容易提高测量精度。它适用于航空航天、精密工程及微电子技术领域中超精密表面的测量分析。