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公开(公告)号：CN104502634B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201410783238.6
申请日：2014-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现连续可控分辨率三维扫描成像的问题。本发明通过控制探针针针尖在YZ平面内实时沿与XZ表面成Φ角的矢量上接近样品表面进行扫描，Φ值可以自动根据已扫描的样品表面信息进行动态调节，以此实现不同角度的表面的等分辨率扫描，有助于提高对微纳米结构性能检测及检测效率，从而为超大规模集成电路和甚超大规模集成电路检测提供了一种重要的工具。
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公开(公告)号：CN104049111A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410309191.X
申请日：2014-07-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双探针原子力显微镜的纳米卡尺及采用该纳米卡尺测量微纳米结构关键尺寸的方法，涉及AFM的纳米卡尺测量技术。它为了解决传统AFM很难实现两个相邻或相对的待测侧壁相关关键尺寸测量的问题。本发明基于双探针AFM原理，设计了两个可旋转探针架，使两探针能够与底面在-90°-90°范围内成任意角度，当两探针旋转角度相同且方向相反时，即构成纳米卡尺，能够实现对两个相邻或相对侧壁表面的扫描，根据扫描数据即可得到微纳米结构的关键尺寸。本发明实现了在不破坏样品的前提下对两侧壁表面相邻和相对区域扫描成像，根据扫描数据得到样品的关键尺寸。本发明适用于对微纳器件关键尺寸的测量，可应用于微纳制造、测试、及微纳操作领域。
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公开(公告)号：CN101178595A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200710144812.3
申请日：2007-12-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 全数字数控系统的驱动及连接装置，涉及到数控系统中一种驱动及连接装置。它解决了现有CNC与数控机床及其外围设备通信连接时需要插接数据转换卡以及控制数据在通信过程中需要经过A/D和D/A两次转换的问题。它通过USB2.0收发器传递CNC与本发明装置之间的数据，可编程逻辑器件中固化的伺服控制器根据USB2.0收发器传递的控制信号发送相应的控制命令给功率驱动接口，电流检测控制器接收电流信号接口输入的电流信号并进行数字滤波和电流测量后发送给伺服控制器，编码器信号输入控制器接收编码器信号输入接口输入的编码器信号并分别转换成速度信号和位置信号，然后分别发送给伺服控制器和通过USB2.0传递给CNC。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104502634A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410783238.6
申请日：2014-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现连续可控分辨率三维扫描成像的问题。本发明通过控制探针针针尖在YZ平面内实时沿与XZ表面成Φ角的矢量上接近样品表面进行扫描，Φ值可以自动根据已扫描的样品表面信息进行动态调节，以此实现不同角度的表面的等分辨率扫描，有助于提高对微纳米结构性能检测及检测效率，从而为超大规模集成电路和甚超大规模集成电路检测提供了一种重要的工具。
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公开(公告)号：CN104062466A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410310642.1
申请日：2014-07-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及该装置的成像方法，涉及采用AFM对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的技术。它为了解决传统AFM很难实现对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的问题。本发明在原有的原子力显微镜的基础上增加了探针架，使探针能够绕X轴方向旋转，此外还增加了样品台在XZ扫描平面内的距离伺服控制程序，使样品台能够沿Y方向上接近探针针尖，并达到用户所设定的距离。本发明能够根据不同的样品选择合适的探针旋转角，在不破坏样品的前提下，实现对样品侧壁表面进行扫描成像和表征度，从而实现对不同的样品侧壁表面精确表征。本发明适用于微纳米结构表面表征，亦可用于微纳制造及测试领域。
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公开(公告)号：CN100535812C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200710144812.3
申请日：2007-12-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 全数字数控系统的驱动及连接装置，涉及到数控系统中一种驱动及连接装置。它解决了现有CNC与数控机床及其外围设备通信连接时需要插接数据转换卡以及控制数据在通信过程中需要经过A/D和D/A两次转换的问题。它通过USB2.0收发器传递CNC与本发明装置之间的数据，可编程逻辑器件中固化的伺服控制器根据USB2.0收发器传递的控制信号发送相应的控制命令给功率驱动接口，电流检测控制器接收电流信号接口输入的电流信号并进行数字滤波和电流测量后发送给伺服控制器，编码器信号输入控制器接收编码器信号输入接口输入的编码器信号并分别转换成速度信号和位置信号，然后分别发送给伺服控制器和通过USB2.0传递给CNC。
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公开(公告)号：CN100514234C
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200710144956.9
申请日：2007-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 基于PC机的开放式数控系统，它涉及一种基于Windows的数控系统，以解决现有基于Windows的数控系统存在的实时性较差、开发成本较高以及基于WINCE的数控系统存在的软硬件兼容性较差的问题。本发明的实时调度模块用于建立PC机和硬件接口板之间的连接、调度实时任务；CNC模块用于在PC机的内存中建立共享内存区以及与实时调度模块连接，并通过实时调度模块调度实时任务来实现位置控制功能；PLC模块通过实时调度模块调度实时任务来实现逻辑控制功能；人机界面模块将输入的路径程序、设置的运行方式、进行系统的数据配置传送给实时任务并将实时任务的执行结果显示给用户；实时调度模块、CNC模块和PLC模块都嵌入在Windows操作系统中，人机界面模块是一个通用性的WINDOWS程序。
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公开(公告)号：CN101196738A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710144956.9
申请日：2007-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 基于PC机的开放式数控系统，它涉及一种基于Windows的数控系统，以解决现有基于Windows的数控系统存在的实时性较差、开发成本较高以及基于WINCE的数控系统存在的软硬件兼容性较差的问题。本发明的实时调度模块用于建立PC机和硬件接口板之间的连接、调度实时任务；CNC模块用于在PC机的内存中建立共享内存区以及与实时调度模块连接，并通过实时调度模块调度实时任务来实现位置控制功能；PLC模块通过实时调度模块调度实时任务来实现逻辑控制功能；人机界面模块将输入的路径程序、设置的运行方式、进行系统的数据配置传送给实时任务并将实时任务的执行结果显示给用户；实时调度模块、CNC模块和PLC模块都嵌入在Windows操作系统中，人机界面模块是一个通用性的Windows程序。
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