公开(公告)号：CN112946396A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202110166149.7

申请日：2021-02-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘超铭 ,  王天琦 ,  蒋礼达 ,  张延清 ,  齐春华 ,  马国亮 ,  霍明学

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/26

Abstract: 一种低温辐照综合试验装置及试验方法，涉及一种采用低温辐照同步进行的半导体器件测试技术，为了解决现有仪器设备不能实现对半导体器件低温与电子辐照同时测试的问题。本发明的恒温真空仓横向水平放置，高频高压电子加速器位于光学窗口的正上方，并用于产生、加速电子，电子竖直向下运动，屏蔽箱的一侧与恒温真空仓的尾部相连通；风冷压缩机用于降低恒温真空仓内的温度，温度控制仪用于调节恒温真空仓内的温度；无油分子泵用于将恒温真空仓抽成真空；PCB板以覆盖的方式固定在该连接口处；待测器件放置于恒温真空仓的头部内，并通过螺丝钉进行固定，待测器件的引脚通过杜邦线与PCB板的引线相连。有益效果为实现了低温和电子辐照的同步测量。