一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置

    公开(公告)号:CN117420120B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311743366.3

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置,涉及等离子体诊断技术领域,解决了现有等离子体光学诊断方法信噪比低、无法检测不发光物质、设备昂贵、灵敏性差的问题。本发明包括放电圆环、支撑装置、绝缘管、导电线和光纤,光纤表面设置有导电涂层,导电涂层与外部设备连接;光纤外部套装有绝缘管;光纤头部的导电涂层上开设有光学窗口,另一端和外部设备连接;光纤上对应光学窗口的位置处设置有放电圆环;放电圆环与地线连接。本发明通过通过控制放电结构内的电子参数,对探针头部位置的物质进行不同程度激发,当中间产物被激发为可荧光激发态后,发光被光学窗口采集并传输至光谱仪,实现对多种不发光中间产物进行探测。

    基于辐射光谱及红外成像的等离子体探针阵列校准方法

    公开(公告)号:CN118829059A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410877286.5

    申请日:2024-07-02

    Abstract: 本发明为等离子体探针校准领域,提供基于辐射光谱及红外成像的等离子体探针阵列校准方法。测量探针阵列的表面温度,使用探针阵列测量稳定运行的霍尔推进器的羽流参数,得到此时探针阵列收集到的伏安特性曲线。再使用红外成像仪测量探针阵列的表面温度,得到探针受轰击加热的温度差。结合探针表面的二次电子发射系数,便计算出二次电流值。结合探针本身测量得到的离子电流值,对电子电流值进行修正,得到真实的伏安特性曲线,计算出准确的电子温度密度。使用光谱仪通过光谱测量此时的电子温度电子密度,与修改后的探针测量的电子温度电子密度进行对比,实现对等离子体探针阵列进行校准。用以解决探针测量结果缺乏校准,准确度难以评定的问题。

    一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置

    公开(公告)号:CN117420120A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311743366.3

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体化学反应中间产物的脉冲光电探针监测装置,涉及等离子体诊断技术领域,解决了现有等离子体光学诊断方法信噪比低、无法检测不发光物质、设备昂贵、灵敏性差的问题。本发明包括放电圆环、支撑装置、绝缘管、导电线和光纤,光纤表面设置有导电涂层,导电涂层与外部设备连接;光纤外部套装有绝缘管;光纤头部的导电涂层上开设有光学窗口,另一端和外部设备连接;光纤上对应光学窗口的位置处设置有放电圆环;放电圆环与地线连接。本发明通过通过控制放电结构内的电子参数,对探针头部位置的物质进行不同程度激发,当中间产物被激发为可荧光激发态后,发光被光学窗口采集并传输至光谱仪,实现对多种不发光中间产物进行探测。

    基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法

    公开(公告)号:CN118317497A

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410128409.5

    申请日:2024-01-30

    Abstract: 本发明涉及一种基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法,装置包括:真空罐体,其内部设有反应腔室;其两侧设有测量窗口;测量窗口包括沿真空罐体的中心轴线对称分布的探针测量窗口和光谱测量窗口;等离子体源,与反应腔室连通,用于产生标准等离子体;真空系统,与罐体内连通;探针检测装置和光谱检测装置,分别设置在同组的探针测量窗口和光谱测量窗口内;分析控制器,与探针检测装置和光谱检测装置电连接,用于根据探针检测装置和光谱检测装置的检测结果,对光谱检测装置进行校准。本发明通过探针检测装置与光谱检测装置对标准等离子体的同样位置进行测量,利用探针检测装置的测量结果对光谱检测装置进行校准,提高了光谱法测量结果的准确性。

    一种恒温腔
    10.
    发明公开
    一种恒温腔 审中-实审

    公开(公告)号:CN116448280A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310271434.4

    申请日:2023-03-20

    Abstract: 本发明涉及一种恒温腔,包括:外部保护层(9)、中间隔热层(10)、内部恒温层(15)、压力控制管(7)和波纹管(8),外部保护层(9)和中间隔热层(10)采用上下两段式封闭结构,外部保护层(9)为双层结构;内部恒温层(15)设置于中间隔热层(10)内的底部,中间隔热层(10)设置于外部保护层(9)内;压力控制管(7)设置于外部保护层(9)的上部;波纹管依次连接压力控制管、中间隔热层和内部恒温层;外部保护层的双层结构内、外部保护层和中间隔热层之间以及中间隔热层和内部恒温层之间均抽为真空,工作时内部恒温层内注入氦气。该恒温腔可以减小内外热辐射和上下温度梯度,抑制温度波动,提升温度均匀性。

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