公开(公告)号：CN119767691A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411870230.3

申请日：2024-12-18

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  哈工大郑州研究院 ,  河南碳真芯材科技有限公司

Inventor： 刘本建 ,  梁博 ,  梁伟 ,  李传龙 ,  张森 ,  陈子怡 ,  张文超 ,  刘康 ,  代兵 ,  朱嘉琦 ,  赵继文 ,  段成成

IPC: H10D8/00 ,  H10D62/10 ,  H10D8/01

Abstract: 一种通过利用钛酸锶构成金刚石介电二极管及其制备方法，本发明是为了解决现有金刚石二极管反向过早击穿的问题。本发明通过利用钛酸锶构成金刚石介电二极管包括欧姆接触电极、掺硼金刚石衬底、金刚石本征外延层、钛酸锶介电层和金属电极，在掺硼金刚石衬底上沉积有金刚石本征外延层，在掺硼金刚石衬底的下表面沉积金属膜层作为欧姆接触电极，在金刚石本征外延层上沉积钛酸锶介电层，在钛酸锶介电层沉积金属电极。本发明金刚石介电二极管中钛酸锶与金刚石构成的介电结价带差值仅为0.14eV，几乎不影响二极管的正向导电性能。钛酸锶作为高介电常数材料，能够有效减少金刚石表面电场集中的情况，大大提高金刚石二极管的反向击穿性能。