一种仿神经突触的柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117309203A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311266078.3

    申请日:2023-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种仿神经突触的柔性压力传感器及其制备方法,该传感器包括上柔性基底、上电极、上敏感层、下敏感层、下电极、下柔性基底;上敏感层由仿神经元轴突末端的半球状凸起微结构及其表面的三维多孔石墨烯导电层组成;下敏感层由仿神经元树突末端的圆柱凹陷结构及其表面的次级粗糙微结构组成。圆柱凹陷结构作为底部支撑,与凸起微结构一一对应,形成仿神经元突触多尺度敏感微结构;上电极位于上柔性基底表面,下电极位于下柔性基底表面。分别采用激光诱导、激光烧蚀加工三维多孔石墨烯、圆柱凹陷结构及其次级粗糙表面。本发明的柔性压力传感器具有灵敏度高、线性测量范围大、响应时间短、制备工艺简单、成本低等特点。

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