公开(公告)号：CN105241568B

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201510623149.X

申请日：2015-09-26

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 张洪泉 ,  刘爱东 ,  沈斌 ,  乔英杰

IPC: G01K7/16

Abstract: 本发明提供了一种挠性温度传感器的制造方法，它涉及到在聚酰亚胺薄膜基底上附着金属敏感膜制造挠性温度传感器方法。本发明解决了被测温场的柔性面测温问题，实现了感温结构的挠性化。本发明的制造方法由以下工步组成：聚酰亚胺薄膜上胶‑敏感金属膜表面处理‑覆金属膜‑掩模光刻‑复制敏感电阻图形‑刻蚀‑清洗去胶‑激光调整精阻值‑电镀焊盘贵金属‑焊接引线‑聚酰亚胺薄膜胶粘覆膜‑形成挠性温度传感器，用本发明方法制造出的温度传感器可以实现大面积温场测量，传感器结构超薄性适于在两物体微缝间测温，挠性安装可应用于柱面、锥面、波浪面等非平面测温。

公开(公告)号：CN105241568A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510623149.X

申请日：2015-09-26

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 张洪泉 ,  刘爱东 ,  沈斌 ,  乔英杰

IPC: G01K7/16

Abstract: 本发明提供了一种挠性温度传感器的制造方法，它涉及到在聚酰亚胺薄膜基底上附着金属敏感膜制造挠性温度传感器方法。本发明解决了被测温场的柔性面测温问题，实现了感温结构的挠性化。本发明的制造方法由以下工步组成：聚酰亚胺薄膜上胶-敏感金属膜表面处理-覆金属膜-掩模光刻-复制敏感电阻图形-刻蚀-清洗去胶-激光调整精阻值-电镀焊盘贵金属-焊接引线-聚酰亚胺薄膜胶粘覆膜-形成挠性温度传感器，用本发明方法制造出的温度传感器可以实现大面积温场测量，传感器结构超薄性适于在两物体微缝间测温，挠性安装可应用于柱面、锥面、波浪面等非平面测温。