公开(公告)号：CN107431013B

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN201680022181.5

申请日：2016-03-14

Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 ,  住友精化株式会社

Inventor： 井上聪 ,  下田达也 ,  深田和宏 ,  西冈圣司 ,  藤本信贵 ,  铃木正博

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明提供一种丝网印刷用的蚀刻掩模(80)，其包含脂肪族聚碳酸酯。此外，本发明提供一种氧化物层(沟道(44))的制造方法，包括：形成包含脂肪族聚碳酸酯的蚀刻掩模(80)的图案的蚀刻掩模形成工序；在该蚀刻掩模形成工序之后，与溶解没有以蚀刻掩模(80)保护的氧化物层(沟道(44))的溶液接触的接触工序；及在该接触工序之后，将氧化物层(沟道(44))及蚀刻掩模(80)，加热至蚀刻掩模(80)会分解的温度以上的加热工序。

公开(公告)号：CN107004606B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201580062190.2

申请日：2015-10-05

Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 ,  住友精化株式会社

Inventor： 下田达也 ,  井上聪 ,  深田和宏 ,  西冈圣司 ,  藤本信贵 ,  铃木正博

IPC: H01L21/368 ,  C23C18/12 ,  H01L21/288 ,  H01L21/316 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明提供当通过印刷法形成电子装置或半导体元件可采用的薄膜时能控制牵丝性的脂肪族聚碳酸酯、氧化物的前驱体、及氧化物层。本发明之一的氧化物的前驱体是在含有分子量为6千以上且40万以下的脂肪族聚碳酸酯比率为该脂肪族聚碳酸酯全体的80质量％以上的前述脂肪族聚碳酸酯构成的粘结剂(可含不可避免的杂质)的溶液中，分散有在被氧化时成为金属氧化物的金属的化合物的物质。结果如图1所示，可形成可用于半导体元件的制造的良好图案。

公开(公告)号：CN107431013A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680022181.5

申请日：2016-03-14

Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 ,  住友精化株式会社

Inventor： 井上聪 ,  下田达也 ,  深田和宏 ,  西冈圣司 ,  藤本信贵 ,  铃木正博

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/3065 ,  H01L21/3086 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明提供一种丝网印刷用的蚀刻掩模(80)，其包含脂肪族聚碳酸酯。此外，本发明提供一种氧化物层(沟道(44))的制造方法，包括：形成包含脂肪族聚碳酸酯的蚀刻掩模(80)的图案的蚀刻掩模形成工序；在该蚀刻掩模形成工序之后，与溶解没有以蚀刻掩模(80)保护的氧化物层(沟道(44))的溶液接触的接触工序；及在该接触工序之后，将氧化物层(沟道(44))及蚀刻掩模(80)，加热至蚀刻掩模(80)会分解的温度以上的加热工序。

公开(公告)号：CN108885987A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201680083034.9

申请日：2016-11-21

Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 ,  住友精化株式会社

Inventor： 井上聪 ,  下田达也 ,  深田和宏 ,  西冈圣司

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/306 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明的课题为：使用具备蚀刻掩模功能的含有脂肪族聚碳酸酯的膏状物或溶液来得到层叠体。本发明的技术手段为一种层叠体的制造方法，其包含下列步骤：图案形成步骤：在氧化物层44上、或在被氧化时成为氧化物层44的第2氧化物前驱体层上，形成第1氧化物前驱物层的图案80，所述第1氧化物前驱物层为如后所述的氧化物前驱体层：在含有包含脂肪族聚碳酸酯的粘结剂(可以含有不可避免的杂质)的溶液中分散有被氧化时成为金属氧化物的金属化合物；蚀刻步骤：在该图案形成步骤后，将未被图案80保护的氧化物层44或第2氧化物前驱体层进行蚀刻；加热步骤：在蚀刻步骤后，将氧化物层44或第2氧化物前驱体层、及第1氧化物前驱体层加热至所述粘结剂发生分解的温度以上。

公开(公告)号：CN107949903A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201680051797.5

申请日：2016-07-21

Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 ,  住友精化株式会社

Inventor： 井上聪 ,  下田达也 ,  深田和宏 ,  西冈圣司 ,  铃木正博

IPC: H01L21/3205 ,  G06F3/041 ,  G06F3/044 ,  H01L21/28 ,  H01L21/288 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768

CPC classification number: G06F3/041 ,  G06F3/044 ,  H01L21/28 ,  H01L21/288 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768

Abstract: 本发明的课题在于，提供一种实现微细配线形成的简便化及/或高品质化的复合部件。本发明的解决手段在于，本发明的一种复合部件(100)，其配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与其表面的接触角度为50°以上，在各个该前体层所夹持的区域的至少一部分，具备位于前述基材上的金属墨液。

公开(公告)号：CN107004606A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580062190.2

申请日：2015-10-05

Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 ,  住友精化株式会社

Inventor： 下田达也 ,  井上聪 ,  深田和宏 ,  西冈圣司 ,  藤本信贵 ,  铃木正博

IPC: H01L21/368 ,  C23C18/12 ,  H01L21/288 ,  H01L21/316 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明提供当通过印刷法形成电子装置或半导体元件可采用的薄膜时能控制牵丝性的脂肪族聚碳酸酯、氧化物的前驱体、及氧化物层。本发明之一的氧化物的前驱体是在含有分子量为6千以上且40万以下的脂肪族聚碳酸酯比率为该脂肪族聚碳酸酯全体的80质量％以上的前述脂肪族聚碳酸酯构成的粘结剂(可含不可避免的杂质)的溶液中，分散有在被氧化时成为金属氧化物的金属的化合物的物质。结果如图1所示，可形成可用于半导体元件的制造的良好图案。

公开(公告)号：CN107949903B

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN201680051797.5

申请日：2016-07-21

Applicant: 国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学 ,  住友精化株式会社

Inventor： 井上聪 ,  下田达也 ,  深田和宏 ,  西冈圣司 ,  铃木正博

IPC: H01L21/3205 ,  G06F3/041 ,  G06F3/044 ,  H01L21/28 ,  H01L21/288 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768

Abstract: 本发明的课题在于，提供一种实现微细配线形成的简便化及/或高品质化的复合部件。本发明的解决手段在于，本发明的一种复合部件(100)，其配置在基材上的多个岛状含有脂肪族聚碳酸酯的层的至少表面，曝露在含有180nm以上且370nm以下的波长的紫外光15分钟后，纯水与其表面的接触角度为50°以上，在各个该前体层所夹持的区域的至少一部分，具备位于前述基材上的金属墨液。