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公开(公告)号:CN1329111C
公开(公告)日:2007-08-01
申请号:CN03821304.4
申请日:2003-08-28
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B01J19/00 , G01N1/40 , G01N1/34 , H05K3/12 , B41K3/02 , B41K3/12 , B41K3/18 , B41M3/00 , B41K3/04
CPC classification number: B01J19/0093 , B01J2219/00382 , B01J2219/00527 , B01J2219/0072 , B01J2219/0074 , B01J2219/00745 , B01J2219/00747 , B01J2219/00783 , B01J2219/00833 , B01L3/0293 , B01L2300/0819 , B41K1/30 , B41M3/006 , C40B30/08 , C40B40/18 , C40B60/14 , G01N35/1002 , G01N2035/1034 , H05K3/12 , Y10S977/887
Abstract: 本发明公开了一种在第三介质存在下,用于将图样从弹性印模转移到衬底的方法。在印模和衬底之间实现邻近接触。将位于印模和衬底之间的第三介质层控制在预定的厚度。此外,还描述了用于实施本方法的印模。
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公开(公告)号:CN1681581A
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:CN03821304.4
申请日:2003-08-28
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: B01J19/00 , G01N1/40 , G01N1/34 , H05K3/12 , B41K3/02 , B41K3/12 , B41K3/18 , B41M3/00 , B41K3/04
CPC classification number: B01J19/0093 , B01J2219/00382 , B01J2219/00527 , B01J2219/0072 , B01J2219/0074 , B01J2219/00745 , B01J2219/00747 , B01J2219/00783 , B01J2219/00833 , B01L3/0293 , B01L2300/0819 , B41K1/30 , B41M3/006 , C40B30/08 , C40B40/18 , C40B60/14 , G01N35/1002 , G01N2035/1034 , H05K3/12 , Y10S977/887
Abstract: 本发明公开了一种在第三介质存在下,用于将图样从弹性印模转移到衬底的方法。在印模和衬底之间实现邻近接触。将位于印模和衬底之间的第三介质层控制在预定的厚度。此外,还描述了用于实施本方法的印模。
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