公开(公告)号：CN106061599A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580011253.1

申请日：2015-02-13

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： M·博格 ,  E·德拉马尔什 ,  G·凯加拉 ,  R·洛芙奇克

IPC: B01J19/00

CPC classification number: B01L3/502707 ,  B01L3/0255 ,  B01L2300/0645 ,  B01L2300/0803 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/1827 ,  H01J49/167

Abstract: 提供了一种制造微探头(100)的方法，所述方法包括：在包括两个层(11、12)的相同双层衬底(10、10a)上提供(S16)n个微流体探头布局(14)的集合，所述布局环形地分布在所述双层衬底上，并且其中所述布局中的每一个布局包括：第一层(110)，其对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的一个(11)的一部分；以及第二层(120)，其对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的另一个(12)的一部分；并且第二层包括由在所述第二层(120)的上表面(120u)上敞开的凹槽限定并且由所述第一层(110)的下表面(110l)的一部分闭合的至少一个微通道(123、124)；大致在所述双层衬底(10)的中心处机械加工(S20)出孔(16)，从而产生界定所述孔并且截断所述布局(14)的所述至少一个微通道中的每一个微通道的圆筒壁(18)，使得所述布局中的每一个布局的所述至少一个微通道(123、124)延伸直到在所述圆筒壁(18)处在所述凹槽的端部处形成的至少一个相应的孔口(121、122)；以及最后，分割(S30)所述n个布局的每一个布局以获得n个微流体探头(100)。还提供因此获得的MFP探头。

公开(公告)号：CN106061599B

公开(公告)日：2017-09-12

申请号：CN201580011253.1

申请日：2015-02-13

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： M·博格 ,  E·德拉马尔什 ,  G·凯加拉 ,  R·洛芙奇克

IPC: B01J19/00

CPC classification number: B01L3/502707 ,  B01L3/0255 ,  B01L2300/0645 ,  B01L2300/0803 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/1827 ,  H01J49/167

Abstract: 提供了一种制造微探头(100)的方法，所述方法包括：在包括两个层(11、12)的相同双层衬底(10、10a)上提供(S16)n个微流体探头布局(14)的集合，所述布局环形地分布在所述双层衬底上，并且其中所述布局中的每一个布局包括：第一层(110)，其对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的一个(11)的一部分；以及第二层(120)，其对应于所述双层衬底的所述两个层(11、12)中的另一个(12)的一部分；并且第二层包括由在所述第二层(120)的上表面(120u)上敞开的凹槽限定并且由所述第一层(110)的下表面(110l)的一部分闭合的至少一个微通道(123、124)；大致在所述双层衬底(10)的中心处机械加工(S20)出孔(16)，从而产生界定所述孔并且截断所述布局(14)的所述至少一个微通道中的每一个微通道的圆筒壁(18)，使得所述布局中的每一个布局的所述至少一个微通道(123、124)延伸直到在所述圆筒壁(18)处在所述凹槽的端部处形成的至少一个相应的孔口(121、122)；以及最后，分割(S30)所述n个布局的每一个布局以获得n个微流体探头(100)。还提供因此获得的MFP探头。