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公开(公告)号：CN101709695B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200910199053.X
申请日：2009-11-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微机械技术领域，具体为一种光致弯曲膜驱动型微泵，该微泵的主结构由泵膜、泵腔、入口和出口等组成。该微泵的泵膜由光致弯曲形变材料层和柔性高分子材料层局部复合组成，通过周期性地照射紫外光和可见光，使泵膜发生周期性的凸起和回复。具有结构和工艺简单，功耗小，易操控，寿命长的特点。
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公开(公告)号：CN101709789A
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200910199051.0
申请日：2009-11-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于材料和微机械技术领域，具体为一种光驱动微阀及驱动方法。该光驱动微阀包含一个可产生形变的单元，所述单元包含在光照下产生伸缩变形的光致形变材料。所述微阀可为悬臂梁结构或阀膜结构。所述悬臂梁结构由基板、悬臂支架、光致形变材料制成的悬臂梁和阀塞组成。所述阀膜结构包括阀座和基板，所述底座与基板之间的空间形成微阀的流道，位于所述阀座上的上阀膜与位于所述基板上的下阀膜相贴合。本发明还提供一种驱动微阀的方法，将光照射到微阀的光致形变材料上，通过光致形变材料的形变控制微阀的开合。本发明的微阀结构简单，尺寸较小，适用于微流体传输与控制、微机械技术领域；本发明的光驱动方法具有传递功率大、非接触、快速、精确、清洁等优点，实现光能向机械能的直接转换。
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公开(公告)号：CN101709695A
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200910199053.X
申请日：2009-11-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微机械技术领域，具体为一种光致弯曲膜驱动型微泵，该微泵的主结构由泵膜、泵腔、入口和出口等组成。该微泵的泵膜由光致弯曲形变材料层和柔性高分子材料层局部复合组成，通过周期性地照射紫外光和可见光，使泵膜发生周期性的凸起和回复。具有结构和工艺简单，功耗小，易操控，寿命长的特点。
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