公开(公告)号：CN101480111A

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200780023692.X

申请日：2007-06-13

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 中野孝纪 ,  三宫仁

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/31 ,  C23C16/24 ,  H01L31/04 ,  C23C16/503

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 在相同的等离子体反应腔室(101)中进行至少两个等离子体处理步骤的情况下，按照每个步骤中等离子体处理所需的电源选择CW交流电源或脉冲调制交流电源。因此，即使在等离子体处理条件由于装置构造而受到限制的步骤中，也可以进行更多种的等离子体处理。而且，通过使用脉冲调制的交流电源，均匀的等离子体可以在电极之间产生，并且提供在电极之间的功率可以减小。由于可以减小等离子体处理速率，所以处理的质量控制变得容易。

公开(公告)号：CN1993836A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200580025534.9

申请日：2005-07-27

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 棚村浩匡 ,  立花伸介 ,  三宫仁

IPC: H01L33/00 ,  H01L31/042 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 公开了一种发光模块，其中，进入到太阳能电池内的光不被衰减，由此防止了太阳能电池的功率输出的降低。此外，可以通过简单工艺生产所述发光模块。具体而言，公开了一种发光模块，其至少包括依次层叠的(a)太阳能电池单元(1)；(b)第一粘结层(16)；(c)由第二发光绝缘衬底(透明PET)(17)、第二金属层(电路图案)(18)和发光元件(芯片LED)(19)构成的发光单元(2)；(d)第二粘结层(20)，以及(e)第三光透射绝缘衬底(21)。采用预先配置了电路图案(18)的具有大约50－500μm的厚度的透明PET(17)生产发光单元(2)。采用能够通过在150℃下保持30分钟而固化的银浆料作为电路图案材料，并且通过丝网印刷在透明PET(17)上形成电路图案(18)，之后使其热固化。

公开(公告)号：CN102347402A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201110215485.2

申请日：2007-06-13

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 中野孝纪 ,  三宫仁

IPC: H01L31/20 ,  C23C16/509 ,  C23C16/24 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32137 ,  C23C16/24 ,  C23C16/509 ,  H01J37/32091 ,  H01L31/076 ,  H01L31/204 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 在相同的等离子体反应腔室(101)中进行至少两个等离子体处理步骤的情况下，按照每个步骤中等离子体处理所需的电源选择CW交流电源或脉冲调制交流电源。因此，即使在等离子体处理条件由于装置构造而受到限制的步骤中，也可以进行更多种的等离子体处理。而且，通过使用脉冲调制的交流电源，均匀的等离子体可以在电极之间产生，并且提供在电极之间的功率可以减小。由于可以减小等离子体处理速率，所以处理的质量控制变得容易。