公开(公告)号：CN1766720A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200510115832.9

申请日：2003-05-30

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 土井诚児 ,  藤川彻也 ,  伊丹直滋 ,  田中义规 ,  星野淳之 ,  黑泽纪雄

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  H01L29/786 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及一种用于信息设备等的显示部的液晶显示装置用基板以及具有该基板的液晶显示装置及其制造方法，目的是提供一种可以减少制造工序，并且能获得良好显示质量的液晶显示装置用基板以及具有该基板的液晶显示装置及其制造方法。在玻璃基板(10)上形成TFT(20)，在TFT(20)上形成保护膜(36)，在保护膜(36)上形成在源极(30)、栅极总线端子(40)和漏极总线端子(44)上开口的抗蚀剂图形，在该抗蚀剂图形表面上照射紫外光后，以200℃以上的烧制温度来烧制，形成具有皱状表面的皱状树脂层(52)，将皱状树脂层(52)用作蚀刻掩模来蚀刻保护膜(36)和绝缘膜(22)，在皱状树脂层(52)上形成反射电极(16)和保护导电膜(41、45)。

公开(公告)号：CN1252519C

公开(公告)日：2006-04-19

申请号：CN03136360.1

申请日：2003-05-30

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 土井诚児 ,  藤川彻也 ,  伊丹直滋 ,  田中义规 ,  星野淳之 ,  黑泽纪雄

IPC: G02F1/1335 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/1362 ,  G02F1/133553

Abstract: 本发明涉及一种用于信息设备等的显示部的液晶显示装置用基板以及具有该基板的液晶显示装置及其制造方法，目的是提供一种可以减少制造工序，并且能获得良好显示质量的液晶显示装置用基板以及具有该基板的液晶显示装置及其制造方法。在玻璃基板10上形成TFT20，在TFT20上形成保护膜36，在保护膜36上形成在源极30、栅极总线端子40和漏极总线端子44上开口的抗蚀剂图形，在该抗蚀剂图形表面上照射紫外光后，以200℃以上的烧制温度来烧制，形成具有皱状表面的皱状树脂层52，将皱状树脂层52用作蚀刻掩模来蚀刻保护膜36和绝缘膜22，在皱状树脂层52上形成反射电极16和保护导电膜41、45。