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公开(公告)号:CN106575062A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201580036053.1
申请日:2015-06-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1368 , G09F9/30 , H01L21/28 , H01L29/786
Abstract: FFS模式的液晶面板的有源矩阵基板具备数据线(24),数据线(24)包含非晶Si膜(122)、n+非晶Si膜(123)、主导体部(133)以及IZO膜(141)。在光致抗蚀剂(142)的覆盖区域内的靠近端的部分对主导体部(133)和IZO膜(141)进行蚀刻,而使n+非晶Si膜(123)形成得比主导体部(133)和IZO膜(141)大。使源极层用的光掩模的图案比像素电极层用的光掩模的图案大,而使非晶Si膜(122)形成得比n+非晶Si膜(123)大。由钼系材料形成主导体部(133),在数据线(24)的上层形成在一方产生压缩应力而在另一方产生拉伸应力的2层保护绝缘膜。由此,提供具有共用电极的高合格率的有源矩阵基板。
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公开(公告)号:CN110596975A
公开(公告)日:2019-12-20
申请号:CN201910487380.9
申请日:2019-06-05
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 木本英伸
IPC: G02F1/1362
Abstract: 本发明涉及一种有源矩阵基板及其制造方法。FFS模式的液晶面板的有源矩阵基板具备:多个栅极线;多个数据线;多个像素电路,其包含开关元件和像素电极;保护绝缘膜,其与这些要素相比形成于上层;以及共用电极,其形成在保护绝缘膜的上层。数据线包含:下层导体部,其与像素电极一起使用氧化铟锡形成;以及上层导体部,其使用钼铌和铝合金形成。下层导体部形成为在开关元件的位置被切断的形状,上层导体部以与下层导体部重叠的方式形成为连续的形状。从而,提供能够防止数据线的断线不良、取向不良的有源矩阵基板。
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公开(公告)号:CN106575063B
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201580042565.9
申请日:2015-06-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1368 , G02F1/1345 , G09F9/30 , H01L21/28 , H01L29/786
Abstract: FFS模式的液晶面板的有源矩阵基板在转接区域内具备多个转接单元,以将共用电极、第1共用干配线(31)以及第2共用干配线(32)电连接。转接单元包含:接触孔(41),其将与共用电极形成为一体的转接电极(37)和第1共用干配线(31)连接;以及接触孔(42),其将转接电极(37)和第2共用干配线(32)连接。第2共用干配线(32)的非晶Si膜(122)在接触孔(41)的位置形成得比第2共用干配线(32)的主导体部(131)大,由作为保护绝缘膜的SiNx膜(151、152)覆盖。由此,防止转接电极在共用干配线的图案端部断开。
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公开(公告)号:CN108474985B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201780007414.9
申请日:2017-01-13
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1339 , G02F1/1343 , G02F1/1368
Abstract: 本发明的液晶显示面板(100)具有用于保持第一基板(10)与第二基板(30)之间的间隙的多个间隔物。多个间隔物包含位于显示区域的多个第一间隔物和位于非显示区域的多个第二间隔物(55)。第一基板具有:第一金属层(12)以及第二金属层(16);形成于第二金属层上;与第二金属层直接接触的第一透明导电层(22);形成于第一透明导电层上的第二无机绝缘层(23);形成于第二无机绝缘层上的有机绝缘层(25)。从第一基板的法线方向观察时,多个间隔物的每一个与第一透明导电层以及第二无机绝缘层重叠,与第一金属层和/或第二金属层重叠,多个间隔物的每一个包含有机绝缘层的一部分。
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公开(公告)号:CN106575063A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201580042565.9
申请日:2015-06-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1368 , G02F1/1345 , G09F9/30 , H01L21/28 , H01L29/786
Abstract: FFS模式的液晶面板的有源矩阵基板在转接区域内具备多个转接单元,以将共用电极、第1共用干配线(31)以及第2共用干配线(32)电连接。转接单元包含:接触孔(41),其将与共用电极形成为一体的转接电极(37)和第1共用干配线(31)连接;以及接触孔(42),其将转接电极(37)和第2共用干配线(32)连接。第2共用干配线(32)的非晶Si膜(122)在接触孔(41)的位置形成得比第2共用干配线(32)的主导体部(131)大,由作为保护绝缘膜的SiNx膜(151、152)覆盖。由此,防止转接电极在共用干配线的图案端部断开。
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公开(公告)号:CN110676263B
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN201910584632.X
申请日:2019-07-01
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 木本英伸
IPC: H01L27/12 , H01L21/84 , G02F1/1362 , G02F1/1368
Abstract: 一种有源矩阵基板和有源矩阵基板的制造方法,有源矩阵基板具有薄膜晶体管,薄膜晶体管具有:栅极电极;隔着栅极绝缘层配置在栅极电极上的氧化物半导体层;以及配置在氧化物半导体层之上的源极电极和漏极电极,多个栅极总线和栅极电极由第1导电膜形成,多个源极总线各自的至少一部分、源极电极以及漏极电极具有包含由第2导电膜形成的下层和由第1透明导电膜形成的上层的层叠结构,在多个源极总线与栅极绝缘层之间配置有与氧化物半导体层由相同氧化物半导体膜形成的在第1方向上延伸的多个第1氧化物层,多个源极总线各自位于对应的第1氧化物层的上表面,多个源极总线各自的沿着第2方向的宽度比对应的1个第1氧化物层的沿着第2方向的宽度小。
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公开(公告)号:CN110676263A
公开(公告)日:2020-01-10
申请号:CN201910584632.X
申请日:2019-07-01
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 木本英伸
IPC: H01L27/12 , H01L21/84 , G02F1/1362 , G02F1/1368
Abstract: 一种有源矩阵基板和有源矩阵基板的制造方法,有源矩阵基板具有薄膜晶体管,薄膜晶体管具有:栅极电极;隔着栅极绝缘层配置在栅极电极上的氧化物半导体层;以及配置在氧化物半导体层之上的源极电极和漏极电极,多个栅极总线和栅极电极由第1导电膜形成,多个源极总线各自的至少一部分、源极电极以及漏极电极具有包含由第2导电膜形成的下层和由第1透明导电膜形成的上层的层叠结构,在多个源极总线与栅极绝缘层之间配置有与氧化物半导体层由相同氧化物半导体膜形成的在第1方向上延伸的多个第1氧化物层,多个源极总线各自位于对应的第1氧化物层的上表面,多个源极总线各自的沿着第2方向的宽度比对应的1个第1氧化物层的沿着第2方向的宽度小。
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公开(公告)号:CN106575062B
公开(公告)日:2019-11-08
申请号:CN201580036053.1
申请日:2015-06-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1368 , G09F9/30 , H01L21/28 , H01L29/786
Abstract: FFS模式的液晶面板的有源矩阵基板具备数据线(24),数据线(24)包含非晶Si膜(122)、n+非晶Si膜(123)、主导体部(133)以及IZO膜(141)。在光致抗蚀剂(142)的覆盖区域内的靠近端的部分对主导体部(133)和IZO膜(141)进行蚀刻,而使n+非晶Si膜(123)形成得比主导体部(133)和IZO膜(141)大。使源极层用的光掩模的图案比像素电极层用的光掩模的图案大,而使非晶Si膜(122)形成得比n+非晶Si膜(123)大。由钼系材料形成主导体部(133),在数据线(24)的上层形成在一方产生压缩应力而在另一方产生拉伸应力的2层保护绝缘膜。由此,提供具有共用电极的高合格率的有源矩阵基板。
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公开(公告)号:CN108474985A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201780007414.9
申请日:2017-01-13
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1339 , G02F1/1343 , G02F1/1368
CPC classification number: G02F1/1339 , G02F1/1343 , G02F1/1368
Abstract: 本发明的液晶显示面板(100)具有用于保持第一基板(10)与第二基板(30)之间的间隙的多个间隔物。多个间隔物包含位于显示区域的多个第一间隔物和位于非显示区域的多个第二间隔物(55)。第一基板具有:第一金属层(12)以及第二金属层(16);形成于第二金属层上;与第二金属层直接接触的第一透明导电层(22);形成于第一透明导电层上的第二无机绝缘层(23);形成于第二无机绝缘层上的有机绝缘层(25)。从第一基板的法线方向观察时,多个间隔物的每一个与第一透明导电层以及第二无机绝缘层重叠,与第一金属层和/或第二金属层重叠,多个间隔物的每一个包含有机绝缘层的一部分。
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公开(公告)号:CN106662785A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201580042551.7
申请日:2015-06-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/1368 , G09F9/30 , H01L21/28 , H01L29/786
CPC classification number: G02F1/136286 , G02F1/13306 , G02F1/133345 , G02F1/133512 , G02F1/133707 , G02F1/13394 , G02F1/134363 , G02F1/13439 , G02F1/1368 , G02F2001/133357 , G02F2001/134372 , G02F2001/13629 , G02F2001/136295 , G02F2201/121 , G02F2201/123 , G02F2201/50 , G09F9/30 , H01L29/786
Abstract: FFS模式的液晶面板的有源矩阵基板具备:多个栅极线;多个数据线;多个像素电路,其包含开关元件和像素电极;保护绝缘膜,其与这些要素相比形成于上层;以及共用电极(30),其形成在保护绝缘膜的上层。共用电极(30)为了产生施加给液晶层的横电场而与像素电极对应地具有多个狭缝(31)。在共用电极(30)上,在包含数据线的一部分配置区域的区域,形成具有在与数据线相同的方向上延伸的部分的数据线上的切口(32)。在相对基板上,在与包含栅极线、数据线、开关元件以及数据线上的切口(32)的配置区域的区域相对的位置形成黑矩阵。由此,抑制由数据线的负荷引起的显示不良。
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