基板处理装置和基板处理方法

    公开(公告)号:CN101584035B

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN200780049603.9

    申请日:2007-12-04

    Inventor: 森井浩二郎

    Abstract: 本基板处理装置根据载放在基板载放台(1)的载放面上的第一基板的第一标记和第二标记的位置,使将第一标记与第二标记连接的线的方向与台架(2)的能移动的方向一致,使在将第一标记与第二标记连接的线的方向与上述移动方向一致的状态下的第一标记的位置和第三标记的位置存储在存储部中,在基板载放台(1)的载放面上载放第二基板后,针对第二基板,使将第二基板上的第一标记与第三标记连接的线的方向与根据存储部中存储的信息计算得到的将第一基板上的第一标记与第二基板上的第三标记连接的线的方向一致。

    基板处理装置和基板处理方法

    公开(公告)号:CN101584035A

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200780049603.9

    申请日:2007-12-04

    Inventor: 森井浩二郎

    Abstract: 本基板处理装置根据载放在基板载放台(1)的载放面上的第一基板的第一标记和第二标记的位置,使将第一标记与第二标记连接的线的方向与台架(2)的能移动的方向一致,使在将第一标记与第二标记连接的线的方向与上述移动方向一致的状态下的第一标记的位置和第三标记的位置存储在存储部中,在基板载放台(1)的载放面上载放第二基板后,针对第二基板,使将第二基板上的第一标记与第三标记连接的线的方向与根据存储部中存储的信息计算得到的将第一基板上的第一标记与第二基板上的第三标记连接的线的方向一致。

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