公开(公告)号：CN102714152A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201180006482.6

申请日：2011-01-18

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 浦田章紘 ,  荒木正浩 ,  内海孝昭 ,  盐田昌弘

IPC: H01L21/301 ,  H01L21/338 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812 ,  H01L33/32 ,  H01S5/02

CPC classification number: H01L29/7786 ,  H01L29/045 ,  H01L29/2003 ,  H01L33/0095

Abstract: 本发明提供一种功能元件及其制造方法。该功能元件是在基板上形成层积膜后、将该基板和层积膜分割为所希望的形状而得到的，具有：六方晶系的基板、形成于所述基板的C面上的层积膜、通过将基板分割为四边形而露出的多个分割面，将基板分割为四边形时的分割线的至少一边从基板的[0001]方向观察，与基板的[1-100]、[-1010]、[01-10]的等效方向中的任一方向垂直，并且由分割线所形成的分割面的至少一部分与相对的其他分割面方向倾斜。

公开(公告)号：CN102714152B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201180006482.6

申请日：2011-01-18

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 浦田章紘 ,  荒木正浩 ,  内海孝昭 ,  盐田昌弘

IPC: H01L21/301 ,  H01L21/338 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812 ,  H01L33/32 ,  H01S5/02

CPC classification number: H01L29/7786 ,  H01L29/045 ,  H01L29/2003 ,  H01L33/0095

Abstract: 本发明提供一种功能元件及其制造方法。该功能元件是在基板上形成层积膜后、将该基板和层积膜分割为所希望的形状而得到的，具有：六方晶系的基板、形成于所述基板的C面上的层积膜、通过将基板分割为四边形而露出的多个分割面，将基板分割为四边形时的分割线的至少一边从基板的[0001]方向观察，与基板的[1-100]、[-1010]、[01-10]的等效方向中的任一方向垂直，并且由分割线所形成的分割面的至少一部分与相对的其他分割面方向倾斜。