公开(公告)号：CN101062838B

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN200710100940.8

申请日：2007-04-28

Applicant: 夏普株式会社 ,  栗科技服务株式会社

Inventor： 近藤伸裕 ,  儿岛宏明 ,  藤井靖央 ,  山口贵

IPC: C03C15/00

Abstract: 本发明提供抑制凹痕的成长对玻璃基板进行表面研磨，可以获得没有凹痕和高度差的具有平滑玻璃表面的玻璃基板的研磨玻璃基板的制造方法，在充满有含有40～90重量％硫酸和0.4～4重量％氢氟酸的表面研磨液6的表面平滑化槽1中浸渍装有玻璃基板20的盒21进行表面研磨，抑制凹痕的成长、形成平滑的玻璃表面，在第1水洗槽2中进行水洗，之后浸渍在装满有含2～30重量％氢氟酸的后研磨液的后研磨槽3中进行后研磨，直至达到规定的玻璃基板厚度，从而制造研磨玻璃基板。

公开(公告)号：CN101062838A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710100940.8

申请日：2007-04-28

Applicant: 夏普株式会社 ,  栗科技服务株式会社

Inventor： 近藤伸裕 ,  儿岛宏明 ,  藤井靖央 ,  山口贵

IPC: C03C15/00

Abstract: 本发明提供抑制凹痕的成长对玻璃基板进行表面研磨，可以获得没有凹痕和高度差的具有平滑玻璃表面的玻璃基板的研磨玻璃基板的制造方法，在充满有含有40～90重量％硫酸和0.4～4重量％氢氟酸的表面研磨液6的表面平滑化槽1中浸渍装有玻璃基板20的盒21进行表面研磨，抑制凹痕的成长、形成平滑的玻璃表面，在第1水洗槽2中进行水洗，之后浸渍在装满有含2～30重量％氢氟酸的后研磨液的后研磨槽3中进行后研磨，直至达到规定的玻璃基板厚度，从而制造研磨玻璃基板。