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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107217236A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710350948.3
申请日：2017-05-17
Applicant: 大连交通大学
IPC: C23C14/26
CPC classification number: C23C14/26
Abstract: 本发明公开了一种低温真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；该装置中电极通电对加热系统的灯丝加热，当其温度达到坩埚内物质的升华温度时，源物质开始蒸发，蒸发出的气体分子在真空腔体内发射到待镀膜的基体上，可实现对碱金属和有机化合物的蒸发；测温系统的热电偶通过电偶丝传导检测实时蒸发温度，冷却系统的进水管通入冷却水，通过冷却罩内部的水循环对坩埚降温，达到低温蒸发的效果；坩埚口上面的旋转挡板可通过手动杆调节控制蒸发出的物质是否对基体镀膜。
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公开(公告)号：CN106987809A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710348599.1
申请日：2017-05-17
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明公开了一种有机真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统和连接组件；加热系统中电热丝通电对金属导热体进行加热，达到有机物蒸发温度蒸发产生气相分子，通过控制系统旋转挡板的旋转闭合实现对镀膜过程的开始与结束，冷却系统始终处于工作状态，以免加热温度过高及实现金属导热体腔内坩埚的均匀受热，测温系统的电偶丝直接测量金属导热体温度进而反馈有机物的加热温度，连接组件的合理连接保证整个设备正常工作。
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公开(公告)号：CN107217236B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201710350948.3
申请日：2017-05-17
Applicant: 大连交通大学
IPC: C23C14/26
Abstract: 本发明公开了一种低温真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；该装置中电极通电对加热系统的灯丝加热，当其温度达到坩埚内物质的升华温度时，源物质开始蒸发，蒸发出的气体分子在真空腔体内发射到待镀膜的基体上，可实现对碱金属和有机化合物的蒸发；测温系统的热电偶通过电偶丝传导检测实时蒸发温度，冷却系统的进水管通入冷却水，通过冷却罩内部的水循环对坩埚降温，达到低温蒸发的效果；坩埚口上面的旋转挡板可通过手动杆调节控制蒸发出的物质是否对基体镀膜。
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公开(公告)号：CN206858646U
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201720550756.2
申请日：2017-05-17
Applicant: 大连交通大学
IPC: C23C14/26
Abstract: 本实用新型公开了一种低温真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；该装置中电极通电对加热系统的灯丝加热，当其温度达到坩埚内物质的升华温度时，源物质开始蒸发，蒸发出的气体分子在真空腔体内发射到待镀膜的基体上，可实现对碱金属和有机化合物的蒸发；测温系统的热电偶通过电偶丝传导检测实时蒸发温度，冷却系统的进水管通入冷却水，通过冷却罩内部的水循环对坩埚降温，达到低温蒸发的效果；坩埚口上面的旋转挡板可通过手动杆调节控制蒸发出的物质是否对基体镀膜。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206872932U
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201720550670.X
申请日：2017-05-17
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本实用新型公开了一种有机真空蒸发源，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统和连接组件；加热系统中电热丝通电对金属导热体进行加热，达到有机物蒸发温度蒸发产生气相分子，通过控制系统旋转挡板的旋转闭合实现对镀膜过程的开始与结束，冷却系统始终处于工作状态，以免加热温度过高及实现金属导热体腔内坩埚的均匀受热，测温系统的电偶丝直接测量金属导热体温度进而反馈有机物的加热温度，连接组件的合理连接保证整个设备正常工作。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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