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实用新型
用于批量制作小型钉状、柱状薄膜传感器的多功能夹具有权

公开(公告)号：CN218801782U

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202223263997.9

申请日：2022-12-07

Applicant: 大连交通大学

Inventor： 崔云先 , 王树贵 , 崔奇 , 陈浩 , 殷俊伟

IPC: B25B11/00 , G01K7/02

Abstract: 本实用新型涉及一种用于批量制作小型钉状、柱状薄膜传感器的多功能夹具，包括夹具本体（5）、端盖（2）和转换螺母（4），所述夹具本体（5）设置有多组通孔，每组通孔包括一个用于放置传感器基底的工件孔（7）和三个呈120°均布于工件孔周围的配件孔（8）组成，每个传感器基底放置于工件孔（7）内，端盖（2）与夹具本体（5）连接，通过工件孔（7）下端螺纹旋入转换螺母（4），实现对传感器基底轴向微调，使各个传感器沉积薄膜的端面全部与端盖（2）下平面紧密贴合保持在同一平面内。本实用新型克服了因打磨抛光导致的传感器基底溅射端面不平整，各个传感器基底端面无法保持在同一平面的问题。

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