公开(公告)号：CN114323360B

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202111625820.6

申请日：2021-12-28

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张航与 ,  赵天聪 ,  朱慧超 ,  吕军 ,  刘波 ,  俞克会

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明属于压力传感器领域，涉及基于双面雕刻激光诱导石墨烯的柔性压力传感器，本发明以激光雕刻石墨烯的技术为基础，在同一材料两侧表面形成石墨烯，使中间残留部分成为介电层，再进行封装等操作制备了柔性激光诱导石墨烯压力传感器。此方法在降低成本的同时也缩短了制备周期，并且通过调控激光加工参数使电极‑介电层‑电极在同一基底材料上成型，达到特定比例使器件性能较优，能够响应10Pa～16kPa范围内压强。在保证了灵敏度、稳定性以及工作范围的同时，简化了复杂的单独制备过程，是比较优秀的选择。

公开(公告)号：CN114323360A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111625820.6

申请日：2021-12-28

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张航与 ,  赵天聪 ,  朱慧超 ,  吕军 ,  刘波 ,  俞克会

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明属于压力传感器领域，涉及基于双面雕刻激光诱导石墨烯的柔性压力传感器，本发明以激光雕刻石墨烯的技术为基础，在同一材料两侧表面形成石墨烯，使中间残留部分成为介电层，再进行封装等操作制备了柔性激光诱导石墨烯压力传感器。此方法在降低成本的同时也缩短了制备周期，并且通过调控激光加工参数使电极‑介电层‑电极在同一基底材料上成型，达到特定比例使器件性能较优，能够响应10Pa～16kPa范围内压强。在保证了灵敏度、稳定性以及工作范围的同时，简化了复杂的单独制备过程，是比较优秀的选择。

公开(公告)号：CN115200754A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202210766295.8

申请日：2022-07-01

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张航与 ,  俞克会 ,  赵天聪 ,  吕军 ,  刘波

IPC: G01L1/18

Abstract: 本发明涉及压力传感器领域，具体涉及一种基于激光诱导石墨烯的电阻式柔性压力传感器及其制备方法，依据电阻的变化可以测量施加压力的大小。本发明以激光雕刻石墨烯技术为基础，在两个基底材料表面通过激光烧蚀形成石墨烯，并使用粘性胶带将其中一块石墨烯微结构从基底上揭下贴合到另一块基底表面的石墨烯微结构上。利用受压时，上下两块石墨烯接触点以及石墨烯相邻层的接触面积发生变化的原理制备电阻式柔性压力传感器。本发明的压力传感器具有高灵敏度、响应快速、制备工艺简单和低成本的特点，能够响应5Pa～5kPa范围内压强，100毫秒内的响应以及良好的稳定性。