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公开(公告)号:CN115682459A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202211270516.9
申请日:2022-10-18
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种用于绝热去磁制冷系统的盐柱,包括:各向异性导热框架、高密度原位生长的顺磁金属盐绝热去磁制冷工质以及匹配的法兰、框架附属部件;其中,各向异性导热框架包括热端极板(1)、冷端极板(2)、中柱(3)以及导热阵列(4)。盐柱利用了轴向配置的高导热框架,通过与原位生长的顺磁金属盐紧密结合,有效提高了顺磁金属盐与工作面间的热传导效率,减小了盐柱内部温度梯度,提高了其热循环过程中的磁熵利用率。同时独创的原位生长技术在保证制冷工质盐与框架良好热接触的同时,有效地减少了盐柱中的空隙,从而获得高的体积磁熵密度。
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公开(公告)号:CN115682459B
公开(公告)日:2025-01-14
申请号:CN202211270516.9
申请日:2022-10-18
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种用于绝热去磁制冷系统的盐柱,包括:各向异性导热框架、高密度原位生长的顺磁金属盐绝热去磁制冷工质以及匹配的法兰、框架附属部件;其中,各向异性导热框架包括热端极板(1)、冷端极板(2)、中柱(3)以及导热阵列(4)。盐柱利用了轴向配置的高导热框架,通过与原位生长的顺磁金属盐紧密结合,有效提高了顺磁金属盐与工作面间的热传导效率,减小了盐柱内部温度梯度,提高了其热循环过程中的磁熵利用率。同时独创的原位生长技术在保证制冷工质盐与框架良好热接触的同时,有效地减少了盐柱中的空隙,从而获得高的体积磁熵密度。
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公开(公告)号:CN113721429A
公开(公告)日:2021-11-30
申请号:CN202111059163.3
申请日:2021-09-10
Applicant: 大连理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种无掩模光刻系统及其对应的光刻方法,包括暗箱及暗箱中的光刻子系统,子系统包括:光刻用复合光源及观察用子光源、用于生成光刻图案的数字微反射镜器件、承载基板的载物台组件、设置于载物台组件与数字微反射镜器件间的,用于曝光与直接观察的镜片组,以及其他设置于同一暗箱中的光刻辅助设备。利用数字微反射镜器件和光刻用复合光源组件直接绘制光刻图案,通过镜片组将图案进行不同比例的缩小并投影,对载物台上承载的基板进行曝光;载物台可实现XYZ轴精密位移,及Z轴精密旋转,通过载物台的调整使基板与投影透镜组的像面重合以承接清晰的光刻图案。本发明可通过观察光路实现对曝光表面实时的直接观察、对准和测量,从而实现不同倍率组合下的套刻功能。
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公开(公告)号:CN115620986B
公开(公告)日:2023-08-01
申请号:CN202211270485.7
申请日:2022-10-18
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种超导热开关,包括:冷端极板(1)、热端极板(2)、绝热支撑壳(3)、超导材料核心(4)、超导绕组(5)、磁芯(6)。冷端极板(1)、热端极板(2)位于超导热开关的两端,超导材料核心(4)位于超导热开关的中心,并同时与冷端极板(1)、热端极板(2)保持接触。本发明提供的超导热开关具有结构简洁、热路高效、驱动电流小的优点。
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公开(公告)号:CN115620986A
公开(公告)日:2023-01-17
申请号:CN202211270485.7
申请日:2022-10-18
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种超导热开关,包括:冷端极板(1)、热端极板(2)、绝热支撑壳(3)、超导材料核心(4)、超导绕组(5)、磁芯(6)。冷端极板(1)、热端极板(2)位于超导热开关的两端,超导材料核心(4)位于超导热开关的中心,并同时与冷端极板(1)、热端极板(2)保持接触。本发明提供的超导热开关具有结构简洁、热路高效、驱动电流小的优点。
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