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公开(公告)号：CN117187935A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311169724.4
申请日：2023-09-12
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种感应电极掩膜电解的装置与方法，属于电解加工领域，该装置包括阳极组件、搅拌组件、电源线、感应电极组件、阴极组件、电解槽。阴、阳极组件，感应电极组件插入电解槽的限位槽内。搅拌组件安置在电解槽上方。阴、阳极组件中的阴、阳极板分别与电源线正、负极相接，感应电极组件中的工件置于阴阳极之间的电场中。基于该装置，搅拌器搅拌电解液形成涡流，通过电源线为阴、阳极板接入直流电，工件位于阴、极板形成的电场中，工件待加工表面发生氧化反应、非加工表面发生还原反应，实现工件的无线感应掩膜电解加工。本发明可以使电场重新分布，同时增强传质，提高掩膜电解加工精度；将多个工件置于阴极板和阳极板形成的电场中，提高掩膜电解加工效率。
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公开(公告)号：CN117139754A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311169969.7
申请日：2023-09-12
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供一种声表面波辅助掩膜电解的装置与方法，属于电解加工领域。该装置的压电陶瓷粘贴在基板上。基板具有反应槽，阳极工件布置于反应槽下方，阴极位于反应槽的上方。反应槽中的电解液由入水泵供给，并由出水泵泵出。基于该装置，打开入水泵和出水泵，进行电解液循环；通过驱动线为压电陶瓷通入兆声波信号，压电陶瓷的所产生的兆声振动以声表面波的形式在基板和阳极工件表面传播，并从阳极工件的待加工表面辐射至反应槽中的电解液；通过电源线为阳极工件和阴极接入直流电，实现阳极工件的电解加工。本发明简单可靠，能够提高掩膜电解加工的传质效果，实现金属微结构的高精度加工。
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公开(公告)号：CN117139897A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311169553.5
申请日：2023-09-12
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种静电感应协同声表面波掩模电解加工的装置及方法，属于电解加工领域。该装置中的泵、储液槽与电解槽相连进行电解液循环。电解槽中的各个零部件之间铆接。阴阳极组件、屏蔽感应电极组件插入电解槽中。电源正、负极分别接阳、阴极组件中的阳、阴极板，布置于感应电极组件中的工件置于阴阳极板之间的电场中。压电陶瓷贴在感应电极组件的基板上，信号发生器和功率放大器接通压电陶瓷。基于该装置，为压电陶瓷通入兆声驱动电压，在工件表面产生表面波；阴阳极板接入直流电，工件位于阴阳极板形成的电场中，工件待加工表面发生氧化反应、非加工表面发生还原反应，实现工件的无线感应加工。本发明操作简单；可以使电场重新分布，同时增强传质，进而提高了掩膜电解加工精度；将多个工件置于阴极板和阳极板形成的电场中，大幅度提高掩膜电解加工效率。
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