一种硅单晶金刚线切片用冷却液回收处理工艺

    公开(公告)号:CN115194964B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202110383550.6

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明提供一种硅单晶金刚线切片用冷却液回收处理工艺,包括以下步骤:将废弃冷却液与吸附材料混合,进行诱导吸附;将混合后的废弃冷却液与吸附材料进行固液分离;将分离出的液体进行离子交换,得到再生冷却液;将分离出的固体与碱液混合,进行超细硅粉与吸附材料的脱附;将脱附后的固体进行筛分过滤,分离出超细硅粉和吸附材料;将分离出的超细硅粉压滤脱水,得到高纯度超细硅粉;将分离出的吸附材料与酸溶液混合,得到再生吸附材料。本发明的有益效果是回收工艺先进,可以回收高品质的冷却液,并回收高纯度的超细硅粉;运行成本降低,使用的吸附材料使用量少、可再生,总体运行成本为现有技术方法的1/3~1/5。

    一种线切冷却液回收方法

    公开(公告)号:CN115193101B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202110383549.3

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明提供一种线切冷却液回收方法,步骤包括:将废冷却液中的硅粉分离,获得含有硅粉的复合物和脱硅冷却液;再分别对所述复合物和所述脱硅冷却液进行处理,获得硅粉泥和再生冷却液。本发明尤其适用于超薄硅单晶金刚线切片用冷却液的大通量再生处理和超细硅粉的高收率回收,可获得高品质再生冷却液和高纯度超细硅粉泥,不仅处理量大,回收效果好,而且可持续且高效低对获得的再生冷却液、超细硅粉泥以及吸附材料进行循环再利用,整体运行成本低,仅为现有技术方法的1/4‑1/5;整体硅粉的回收率达84%以上,且获得的再生冷却液的导电率为17.7‑19.4μS/cm,表面张力为31.8‑33.1mN/m。

    一种硅单晶金刚线切片用冷却液回收处理工艺

    公开(公告)号:CN115194964A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202110383550.6

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明提供一种硅单晶金刚线切片用冷却液回收处理工艺,包括以下步骤:将废弃冷却液与吸附材料混合,进行诱导吸附;将混合后的废弃冷却液与吸附材料进行固液分离;将分离出的液体进行离子交换,得到再生冷却液;将分离出的固体与碱液混合,进行超细硅粉与吸附材料的脱附;将脱附后的固体进行筛分过滤,分离出超细硅粉和吸附材料;将分离出的超细硅粉压滤脱水,得到高纯度超细硅粉;将分离出的吸附材料与酸溶液混合,得到再生吸附材料。本发明的有益效果是回收工艺先进,可以回收高品质的冷却液,并回收高纯度的超细硅粉;运行成本降低,使用的吸附材料使用量少、可再生,总体运行成本为现有技术方法的1/3~1/5。

    一种线切冷却液回收方法

    公开(公告)号:CN115193101A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202110383549.3

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明提供一种线切冷却液回收方法,步骤包括:将废冷却液中的硅粉分离,获得含有硅粉的复合物和脱硅冷却液;再分别对所述复合物和所述脱硅冷却液进行处理,获得硅粉泥和再生冷却液。本发明尤其适用于超薄硅单晶金刚线切片用冷却液的大通量再生处理和超细硅粉的高收率回收,可获得高品质再生冷却液和高纯度超细硅粉泥,不仅处理量大,回收效果好,而且可持续且高效低对获得的再生冷却液、超细硅粉泥以及吸附材料进行循环再利用,整体运行成本低,仅为现有技术方法的1/4‑1/5;整体硅粉的回收率达84%以上,且获得的再生冷却液的导电率为17.7‑19.4μS/cm,表面张力为31.8‑33.1mN/m。

Patent Agency Ranking