公开(公告)号：CN107073676B

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN201580051608.X

申请日：2015-09-28

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 高桥大介 ,  高田直树 ,  前田宪孝

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24

Abstract: 提供了一种在对具有变化厚度的被研磨物的表面进行研磨时,可提高研磨精度并可抑制研磨不均的研磨垫。研磨垫(1)是将具有研磨面(9)的上层片材(3)及下层片材(5)至少两片片材贴合而构成的，上层片材的厚度为1.0mm～2.0mm，研磨面(9)的肖氏A硬度为20～90，并且对研磨垫(1)整体使用10mm的压头进行测定时的25％压缩硬度为0.15～0.35MPa。

公开(公告)号：CN107073676A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580051608.X

申请日：2015-09-28

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 高桥大介 ,  高田直树 ,  前田宪孝

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24

CPC classification number: B24B37/22 ,  B24B37/24

Abstract: 提供了一种在对具有变化厚度的被研磨物的表面进行研磨时,可提高研磨精度并可抑制研磨不均的研磨垫。研磨垫(1)是将具有研磨面(9)的上层片材(3)及下层片材(5)至少两片片材贴合而构成的，上层片材的厚度为1.0mm～2.0mm，研磨面(9)的肖氏A硬度为20～90，并且对研磨垫(1)整体使用10mm的压头进行测定时的25％压缩硬度为0.15～0.35MPa。