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公开(公告)号:CN110986801A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201911120945.6
申请日:2019-11-15
Applicant: 富泰华精密电子(郑州)有限公司
Abstract: 本申请公开了一种检测装置,包括:检测器,用于发射及获得介质,以获得检测信息;控制器,与所述检测器耦接,用于:控制所述检测器向工件发射所述第一介质;获得所述检测器的初始信息;获得检测信息,所述检测信息形成于所述检测器对所述第二介质、所述第三介质的获得;根据所述初始信息及所述检测信息,计算所述工件的平面度和厚度。本申请还提出了一种检测设备,包括检测装置及安装治具。本申请还提出了一种检测方法,包括:向工件发射第一介质;获得检测信息;根据所述初始信息及所述检测信息,计算所述工件的平面度和厚度。本申请操作简单、检测效率高,实现自动化作业且检测精度高。