公开(公告)号：CN116872032A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310989640.9

申请日：2023-08-07

Applicant: 广东先导微电子科技有限公司

Inventor： 王柱丞 ,  高鹏飞

IPC: B24B19/22 ,  B24B41/06 ,  B24B41/00 ,  B24B47/12

Abstract: 本发明涉及氮化硼加工技术领域，公开了一种氮化硼加工打磨装置及方法，装置包括：夹具，包括透明外壳及发光件，所述透明外壳内设有容纳腔，透明外壳的壳壁中空，发光件嵌在所述透明外壳的壳壁内；支撑架，支撑于夹具的一端；驱动机构，与所述夹具的另一端传动连接，驱动机构用于驱动夹具转动；脚踏开关，与所述驱动机构电连接，以控制所述驱动机构的运行。本发明在夹具旋转的过程中，使用砂纸对氮化硼的内壁进行加工打磨，在打磨的过程中，可通过发光件发出的光对氮化硼的内壁进行直观的观察，实现对氮化硼的半自动加工打磨，提高效率；且在氮化硼旋转的同时对其进行打磨，使得产出的氮化硼粗糙度光滑且均匀，有利于提高晶体的成品率。

公开(公告)号：CN220762338U

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202322115250.7

申请日：2023-08-07

Applicant: 广东先导微电子科技有限公司

Inventor： 王柱丞 ,  高鹏飞

IPC: B25B11/00

Abstract: 本实用新型涉及夹具技术领域，公开了一种氮化硼加工用夹具，包括：外壳组件，包括第一壳体与第二壳体，第一壳体与第二壳体均透明，第一壳体的壳壁内和第二壳体的壳壁内均具有夹层空间，第一壳体与第二壳体可拆卸地连接，第一壳体与第二壳体连接为夹具外壳，夹具外壳设有插入口，夹具外壳的内部具有与插入口连通的盛放空间；光源，设有多个，多个光源分别嵌设在第一壳体的夹层空间内和第二壳体的夹层空间内。本实用新型的夹具对氮化硼的包裹性强，方便更加稳定安全的完成氮化硼的加工作业，避免氮化硼在加工过程中发生滑落损坏；且方便观察夹具外壳的内部情况，不需要一边用手电查看氮化硼情况一边加工，增加了操作的安全性与便利性。